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小型等离子清洗机

型号
中美合资合肥科晶材料技术有限公司

高级会员10年 

生产厂家

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真空管式炉,高温箱式炉,高速震动球磨机,RTP快速退火炉,高温高压炉,涂覆机,电池制备设备等
  合肥科晶材料技术有限公司成立于1997年,是由一群来自麻省理工学院和加州大学伯克利分校的材料研究人员创办的美国MTI公司与中科院合肥物质科学研究院合资兴办的高新技术企业。主要生产氧化物晶体(A--Z)和材料实验室成套设备:包括“混料-压料-烧料”(混料机、压片机、箱式炉、真空管式炉)以及“定向-切割-研磨-抛光”(X射线定向仪、低速外圆锯、金刚石线切割机、自动研磨、抛光机)。公司自主研发生产上百款不同规格尺寸、温度、高温高压及快速升温等产品,其中包括:箱式炉、气氛炉、管式炉、井式炉、RTP快速升温炉、高温高压炉、镀膜机、清洗剂及新能源锂离子电池研发等相关实验室设备。现已成为氧化物晶体(A--Z)的主要制造商和材料研究实验室设备的*,为科研工作者提供材料研究解决方案。产品设计*、性能优异,质量可靠,性价比高,环保节能、返修率低,远销到欧洲,美国,日本,德国等许多国家,广泛应用于物理、化学、冶金、医学、新能源材料研发等领域,受到客户*好评。
 
  科晶公司秉承"以人为本、技术为导、诚信为基、积极创新"的经营理念,全力打造材料研发设备的品牌,竭力为科学进步和社会发展做出贡献。
 

详细信息

     小型等离子清洗机集成了RF等离子体发生技术、计算机控制技术、软件编程技术,采用气体作为清洗介质,有效地避免了因液体清洗介质对被清洗物带来的二次污染。工作时外接一台真空泵,清洗腔内的等离子体轻柔冲刷被清洗物的表面,可短时间内*清洗掉有机污染物,清洗程度可达到分子级。另外,其样品台可选配加热功能,可加负偏压,用以实现离子蚀刻。此外,其可在特定条件下根据需要改变某些材料表面的性能。

 

 技术参数

主要特点

  •    采用气体作为清洗介质,避免了因液体清洗介质对被清洗物带来的二次污染。
  •    可短时间内*清洗掉有机污染物。
  •    清洗程度可达到分子级。
  •    可在特定条件下根据需要改变某些材料表面的性能。
  •    清洗过程中的辉光放电可对某些特殊用途的材料加强粘附性、相容性和浸润性,并可消毒和杀菌。
  •    样品台可选配加热功能,可加负偏压,用以实现离子蚀刻。
  •    广泛应用于光学、光电子学、电子学、材料科学、生命科学、高分子科学、生物医学、微观流体学等领域。

参数

  •    电压:AC220V  10A
  •    消耗功率:<500W(包括真空泵)
  •    RF电源:输出功率100W,输出频率13.56MHz
  •    腔体:Φ190mm×98mm
  •    石英管:Φ180mm×55mm,壁厚7mm
  •    内腔:Φ165mm×55mm
  •    清洗电极:Φ120mm
  •    样品台:Φ150mm,有效尺寸Φ140mm
  •    样品台与电极间距:15mm-50mm可调
  •    抽气管:Φ12mm
  •    极限真空度:0.1Pa
  •    工作真空度:60Pa-500Pa
  •    气路数量:2路(选装)
  •    流量控制器数量:12
  •    流量显示仪:2通道
  •    气路接口:Φ6mm
  •    加热样品台:Φ140mm,加热样品温度RT-600℃±1℃(选装)
  •    冷却水压力:0.2KPa-0.4KPa
  •    工作环境:温度5-35℃,湿度<80%(相对湿度)不结露,海拔高度0-2000m

产品规格

  •  尺寸:245mm×235mm×460mm(不含真空泵)
  •   重量:20kg(不含真空泵)

可选配置

  •    加热样品台
  •    流量控制器(量程1050100,zui多可增加2个通道)

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