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D07-9E 气体质量流量控制器
高级会员第8年
生产厂家北京华丞电子有限公司(以下简称“华丞电子”)是由北京七星华创流量计有限公司、北京七星华创集成电路装备有限公司及北方华创微电子装备有限公司射频业务单元整合而成的工业领域核心零部件及解决方案科技企业,华丞电子立足于集成电路、新能源等工业领域的科技前沿,集聚了多项先进零部件技术核心人才,致力于成为一家全面的工业零部件解决方案供应商。
华丞电子传承了数十年在流量测控、射频技术和自动化设备等领域的专业优势,技术积和创新能力。产品迭代升级的同时,华丞电子依据客户新的产品需求不断探索研究,深挖技术,创新产品,拓宽产品线,形成了流量测控、压力测控、气路系统、射频电源、匹配器、磁流体密封装置、传输系统、自动化装备等系列产品,为半导体、光伏、燃料电池、真空镀膜等领域提供解决方案。华丞电子布局六大研发/生产基地,营销服务体系覆盖欧、美、亚等全球主要国家和地区。
在新的征程上,北京华丞电子有限公司将携手所有合作伙伴,共同开创电子科技领域的新篇章,为构建智慧社会贡献我们的力量。
D07-9气体质量流量控制器可以应用到对各种气体进行测量和控制,除测量外还可以精密控制气体的质量流量,质量流量计(MFM)可以精密测量气体的质量流量。D07-9产品是七星流量计研发精度高、响应时间快的模拟产品。
优势
• 中流量型
• 橡胶密封、模拟电路的MFC
• 分流器不易堵塞
• 采用DB15型电插头,标准机械接头
D07-9气体质量流量控制器技术参数
项目 | D07-9E 型 | D07-9EM 型 | D07-9F 型 | D07-9FM 型 |
流量规格 | ( 0~20,30,50,100,150,200,250) SLM | ( 0~20,30,50,100,150,200,250) SLM | 0~20,30,50,100,150,200,250 SLM | 0~20,30,50,100,150,200,250 SLM |
准确度 | ±2 % F.S. | ±2 % F.S. | ±2% F.S. | ±2 % F.S. |
线性 | ±1 % F.S. | ±1 % F.S. | ±1% F.S. | ±1 % F.S. |
重复精度 | ±0.2 % F.S. | ±0.2 % F.S. | ±0.2% F.S. | ±0.2 % F.S. |
响应时间 | (1 ~ 4) sec | (1 ~ 4) sec | ≤ 4sec | ≤4 sec |
工作压差范围 | 20 , 30 SLM: (0.05 ~ 0.30) MPa (7.3~43.5 psid) | - | 20,30 SLM: (0.05~0.30) MPa (7.3~43.5 psid) | - |
气压降 | - | 20~100SLM: <0.02 MPa (2.9 psid); | - | 20~100SLM: <0.02 MPa (2.9 psid); |
大工作压力 | 1 MPa | 1 MPa | 1 MPa | 1 MPa |
耐压 | 3 MPa (435.1 psig) | 3 MPa (435.1 psig) | 3 MPa (435.1 psig) | 3 MPa (435.1 psig) |
工作环境温度 | 5 ℃ ~ 45 ℃ | 5 ℃ ~ 45 ℃ | 5℃ ~ 45℃ | 5 ℃ ~ 45 ℃ |
输入输出信号 | 0 V ~ +5.00 V | 0 V ~ +5.00 V | 4~20 mA 或 1~5 VDC | 4~20 mA 或 1~5 VDC |
电源 | +15 V 50 mA | +15 V 50 mA | 24VDC 400 mA | 24 VDC 100 mA |
重量 | 2.6 kg | 1.5 kg | 2.6 kg | 1.5 kg |