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起订量：
MFC-5Z CVD化学气相沉积多通道质量流量控制系统
- 型号
- MFC-5Z
合肥康帕因设备技术有限公司是应材料界老客户呼吁而成立的专业致力于材料制备、真空镀膜、真空检测、等离子清洗、镀膜等设备的研发、生产型企业。公司拥有过硬的技术团队，可在材料研究、真空检漏、真空镀膜、等离子清洗等领域为您排忧解难。
CPI 技术力量来源于材料类工业生产设备要求，以及与国外同行业间的技术合作，产品设计*，注重细节，质量可靠，售后无忧。CPI设备广泛应用于新能源材料，金属材料，磁性材料，半导体材料，陶瓷材料，电化学，薄膜材料，CVD,PECVD ,石墨烯，碳纳米管，碳纳米线，光学材料，齿科等研究领域。
CPI将工业生产设备技术要求应用于实验设备，设备性能更加稳定可靠，工艺重复性强。
CPI的理念是以客户为根本（customer），以人才为基础（personnel），以创新求发展（innovation）。我们将秉承这一理念，为每一个客户提供全套方案！
CPI企业文化：厚德载物，自强不息。以人为本，敬职敬业。
CPI经营理念：诚信务实，创新致远。品质*，服务至上。
详细信息
技术参数
| 名称 | 双通道 | 三通道 | 四通道 | 五通道 |
| CVD化学气相沉积多通道质量流量控制系统质量流量控制器 | 工作温度：5~45ºC 重复精度: ±0.2%F.S. | 工作温度：5~45 ºC | 工作温度:5~45 ºC 重复精度: ±0.2%F.S. | 工作温度: 5~45 ºC |
| 输入电源 | AC 220V/50Hz单相 | |||
| 功率 | 23W | |||
| PLC触摸屏 | · CVD化学气相沉积多通道质量流量控制系统各通道的气路设定和查看都集中在一个7"的触摸屏上 · RS485 通讯接口和PC控温软件可以连接到电脑上，进行远程控制 | |||
| 机械压力表 | · 有一机械压力表安装于前面板上，与混气罐相连接 · 量程:-0.1~0.15 MPa | |||
| 针阀 | 316 不锈钢 | |||
| 通气管道 | · 内部连接管道为Φ不锈钢管 · 外部通气管道为Φ聚四氟管 | |||
| 混气罐 | Φ80X120mm | |||
| 截止阀及配件 | ·316不锈钢针阀 Φ6mm 不锈钢管 | |||
| 外形尺寸 | 600mm(L)x745mm(W)x700mm(H) | |||
| 质量认证 | CE认证 | |||
| 质保期 | 一年质保期，终身维护 | |||
