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Microchem SU-8 2000 系列

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匀胶机,光刻机,显影机,等离子清洗机,紫外臭氧清洗机,紫外固化箱,压片机,等离子去胶机,刻蚀机,加热板

半导体化工领域专业实验设备供应商:迈可诺是一家富有创新精神的高科技公司,专业提供光电半导体化工实验室所需设备耗材的全套解决方案提供商,迈可诺从事开发、设计、生产并营销质量可靠的、安全易用的技术产品及优质专业的服务,帮助我们的客户和合作伙伴取得成功。我们成功的基础是帮助客户做出更好的选择和决定,尊重他们的决定,并协助他们实现高效率的科研成果,追求丰富有意义的生活。



详细信息

MicroChem环氧树脂抗蚀剂由化学放大的环氧基负性抗蚀剂组成,它们具有高度功能性,光学透明性和可接近UV(365nm)辐射的可成像。固化膜或微结构是对溶剂非常抵扣的,酸和碱以及具有优异的热稳定性和机械稳定性,使其非常适合制造permanent结构,如像素墙,流体通道和喷嘴,微阵列和间隔物。

材料的使用:

  • PDMS模具制造
  • 结构部件,如微流体通道,显示像素阵列,墙壁和介电层
  • 干蚀刻掩膜
  • 快速成型

材料属性:

  • 旋涂薄膜从< 1µm>75µM
  • 耐高温和耐化学性好
  • 光学透明
  • 兼容i-Line成像设备

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

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