德国莱宝油扩散泵主要技术参数：

抽速：50 000L/S

极限全压强：< 5.0 x 10-7mbar

德国莱宝油扩散泵的工作原理

与其它的类型的蒸汽流真空泵相比，油锅内和蒸汽射流中的蒸汽密度是相当低的，因此气体分子几乎可以全部扩散进入蒸汽射流中，而其中的绝大部分分子会被抽出。

扩散泵的抽速（与进气口面积相关）高而恒定， 在进气压强约为10-3mbar(0.75×10-3Torr)至很低压强范围内，蒸汽射流不受真空室内压强变化的影响

德国莱宝油扩散泵供货范围

油扩散泵在供货时已具备连接条件，但没充泵油。

交货前泵内部已擦洗干净，无油且已抽空。高真空和前级真空法兰已经配装有发运法兰，及所需配套之密封圈和中心定位环及全套紧固部件。

DIP 系列扩散泵

欧瑞康莱宝于九十年代研发的DIP系列大口径扩散泵,对传统扩散泵在许多方面做了重大改进,其主要特点:

抽速大;抽速范围为3000~50000升/秒(ISO/DIN标准,既中国国家标准),共分六种规格;

泵壁有凹槽,冷却水管卧在凹槽内,增大了接触面积,冷却效果好;

油蒸气返流量低。不加外置水冷挡板并使用DIFFELEN普通矿物油,其返流量为1×10-3毫克/厘米2每分钟,如果采用DC705硅油,返油量可低至1×10-4毫克/厘米2每分钟;

极限真空度高;低于10-8mbar;

重量轻;50000升/秒抽速的DIP50000扩散泵的重量仅为560公斤;

采用插入扩散泵内部的多支加热棒加热,热传输效率高,因此预热、时间短;对于抽速为3000-20000升/秒的泵,预热时间为小于25分钟;30000和50000升/秒的泵,预热时间小于30分钟;

可在不停泵的情况下更换扩散泵的加热棒;

装有过热保护装置,防止泵油过热;

通过油观察窗可随时观察油是否变质;

有注油口和放油口,换油时无须把扩散泵从真空系统中拆下;

大允许前级压力高,为0.6mbar。

在冶金、热处理和镀膜等领域,欧瑞康莱宝为客户度身订做各种规格的扩散泵组。

提高性能质量

（1）目前国内生扩散泵的厂家较多，型号、尺寸不统一，大泵越作越大，小泵则很少生产。况且对泵的全面性能也没有考核指标。行业应对提高性能和质量进行定期检查、组织生产厂家多做改进工作，使用户配套方便。

（2）泵在结构方面：要缩小尺寸、降低重量，保证零件的加工精度，可增加级数，提高在4×10-1Pa时的抽气量。给出对几种常用的被抽气体的抽气量。

（3）增加附件。如设置挡油帽，过热保护装置（对冷却水水温、水压和泵油温度的在线测和自动保护。可自动切断和复位）。出口压力的监控。

（4）规定油量的大值和小值和耗油量（如0.5~0.7 g/h等）。要观察油位，以方便用户及时注油。从观察窗看泵油变质情况以便及时更换。

（5）给出合适的前级泵的容量。

（6）为了节能加热功率要可调，要快速起动和快速冷却停泵，提高设备的运转率。

（7）给出各种被抽气体的性能曲线，给出对一些气体的压缩比（方便用户选用。

（8）用微机控制运行和故障诊断。

（9）密封处要选高质量的放气率和透气率小的橡胶圈。

（10）给出各种泵的返油率限定值，进一步降低返油率，扩大油扩散泵的用途。油扩散泵的工作压力范围宽（1~10-5Pa以下），它比其它高真空泵的可靠性高，成本低，只有少数部件需要维修，泵内无运动部件，工作中可更换加热器。硅油或聚苯醚的蒸汽压为10-9~10-10Torr，使用合适的挡板或阱在室温状态下可获得10-10Torr或更低的压力。