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CIF Spin Coater 匀胶机

型号
CIF Spin Coater
参数
产地类别:国产 价格区间:10万-30万 应用领域:医疗卫生,环保,食品,化工,农业
华仪行(北京)科技有限公司

高级会员10年 

生产厂家

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CIF匀胶机

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半导体领域仪器设备:等离子清洗机、紫外臭氧清洗机、匀胶机、烤胶机等。 理化实验室仪器设备:酸蒸逆流清洗器、真空赶酸系统、酸纯化器、智能消解仪、恒温电热板等

企业历程 :

◆ 2006 年,在美国加州洛杉矶注册成立赛福国际集团有限公司(CIF International Group Co.,Ltd)。成立之初是一 家面向大学科研院所销售仪器设备的供应商。

◆ 2008 年, 自主研发生产石墨电热板以来, 先后研发生产酸蒸逆流清洗器、酸纯化器、智能消解仪等理化实验仪器设备, 从此走上研发生产专业化道路。

◆ 2010 年,掌握了等离子核心技术,自主研发生产科研型等离子清洗机系列产品。

◆ 2014 年, 在中国注册成立华仪行(北京) 科技有限公司, 正式进入中国市场, 部分仪器设备研发、制造业务移至中国。

◆ 2015 年,自主研发生产专为处理粉体样品而设计转瓶等离子清洗机。

◆ 2017 年,自主研发生产紫外臭氧清洗机系列产品。

◆ 2018 年,在中国成注册立赛福仪器承德有限公司,将研发制造业务全部移至中国。

◆ 2019 年,电镜专用远程等离子清洗机研发成功。

◆ 2021 年,自主研发生产中试、生产型等离子清洗系列产品,完善了等离子产品线。

◆ 2023 年,科研型等离子去胶机、RIE 蚀刻机研发成功。


公司专注材料表面处理技术:

◆ 改性(等离子清洗机、紫外臭氧清洗机)                   ◆ 去胶(等离子去胶机)

◆ 蚀刻(等离子刻蚀机)                                              ◆ 涂层(等离子溅射镀膜机、匀胶机、烤胶机)

企业愿景:

致力于为全球用户提供专业的表面处理整体解决方案。

企业使命:

CIF与我们的员工、客户乃至商业伙伴在内的所有人,同呼吸,共命运,共同成长,共同发展,共同成就梦想!


详细信息

  CIF-Spin Coater匀胶机进行滴胶就是简单地把光刻胶滴注到静止的基片表面的中心,滴胶量为1-10ml不等。滴胶的多少应根据光刻胶的粘度和基片的大小来确定。粘度比较高和/或基片比较大,往往需要滴较多的胶,以保证在高速旋转阶段整个基片上都涂到胶。动态滴胶方式是在基片低速(通常在500转/分左右)旋转的同时进行滴胶,“动态”的作用是让光刻胶容易在基片上铺展开,减少光刻胶的浪费,采用动态滴胶不需要很多光刻胶就能润湿(铺展覆盖)整个基片表面。尤其是当光刻胶或基片本身润湿性不好的情况下,动态滴胶尤其适用,不会产生针孔。
 

Spin Coater

 

  滴胶之后,下一步是高速旋转。使光刻胶层变薄达到要求的膜厚,这个阶段的转速一般在1500-6000转/分,转速的选定同样要看光刻胶的性能(包括粘度,溶剂挥发速度,固体含量以及表面张力等)以及基片的大小。快速旋转的时间可以从10秒到几分钟。匀胶的转速以及匀胶时间往往能决定胶膜的厚度。
  一般来说,匀胶转速快,时间长,膜厚就薄。影响匀胶过程的可变因素很多,这些因素在匀胶时往往相互抵销并趋于平衡。所以建议给予匀胶过程以足够的时间,让诸多影响因素达到平衡。
 
  Spin Coater匀胶机产品特点:
  1.采用闭环控制伺服电机,数字式增速信号反馈,速匀准确,寿命长,保证匀胶均匀。
  2.5寸全彩触摸屏,智能程序化可编程操控显示,标配10个匀胶梯度阶段(速度和时间梯度设置),可选配10个可编程程序,每个程序下可设置10个匀胶梯度阶段,多100个阶段。
  3.内置水平校准装置,大限度的保证旋涂均匀,可对大小不同规格的基片进行旋涂。
  4、多重安全保护
  电磁安全开关,盖子打开卡盘停止,保证安全;盖子自锁功能,防止飞片盖弹开伤人;双重安全上盖,聚四氟嵌镶钢化玻璃,避免单一玻璃或者亚克力上盖飞片伤人,大限度保证实验人员安全。
  5.一机两用,根据不同样品可选真空吸盘和非真空卡盘两种旋涂模式。
  6.不锈钢喷塑涂层旋涂壳体,PTFE旋涂腔体,聚丙烯(NPP-H)旋涂托盘,PTFE嵌镶钢化玻璃上盖,耐酸碱防腐蚀,保证仪器在苛刻条件下仍能正常运行。
  7.匀胶机适用硅片、玻璃、石英、金属、GaAs,GaN,InP 等多种材料。
 
  CIF-Spin Coater匀胶机技术参数:
 

型号

转速(转/分)

转速稳定度

匀胶时间

旋涂基片尺寸mm

外型尺寸(LxWxH)mm

SC1

50-10000

±1%

0-2000S

圆片Φ5-Φ100,方片大100x100

310x260x250

 

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产品参数

产地类别 国产
价格区间 10万-30万
应用领域 医疗卫生,环保,食品,化工,农业
企业未开通此功能
详询客服 : 0571-87858618
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