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CS300气体质量流量控制器
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七星流量计一家专业提供流量测控解决方案的供应商，传承在气体流量测控领域40多年研发生产实力，始终以技术创新为基点，致力于为客户过程控制中精确测量控制气体的研究；致力于成为**的气体流量测控产品服务商；致力于帮助客户提升设备性能；致力于实现核心零部件中国造的产业梦想。
七星流量计气体流量测控产品不断迭代升级，深挖技术，优化产品，拓宽产品线，为半导体、燃料电池、太阳能、真空镀膜、分析仪器等行业客户需求提供定制化气体测控解决方案及产品维护服务，其营销服务体系覆盖欧、美、亚等主要国家和地区。
未来的七星流量计，将继续专注气体流量测控，深耕发展，未来，坚持以客户需求为导向的持续创新，中国MFC行业发展。
详细信息
CS300气体质量流量控制器是七星流量计专门为大规模集成电路装备设计的产品，该产品在原有CS200气体质量流上，采用了基于DF的压力信号补小偿算法，全量控制器的基础新的金属表面处理工艺，产品各项技术指标均严格按照SEM标准，支持Ⅵ型，C型GS气路系统。
CS300气体质量流量控制器优势：
• 准确度采用设定点精度，产品精度可达±1.0% S.P.，响应时间*快≤ 0.5sec。
• CS300系列产品可带有压力补偿功能，对前段气体压力的扰动进行有效的补偿，减少压力变化对瞬时流量影响，从而保证产品工作的稳定性和准确性。
• 采用的恒功率传感器原理，在温度变化时进行相应的补偿，从根本上抑制了流量计的零漂现象，保证了传感器线性。
• 产品采用专门的金属表面处理技术，与气体接触的表面金属材料全部使用316LVV，CS300C产品金属表面粗糙度更可达5RA以下，严格按照SEMI标准生产制造。
技术参数
CS300 | ||||||||
型号 | CS310C | CS320C | CS310D | CS320D | ||||
阀类型 | 常开或常闭 | 无 | 常开或常闭 | 无 | 常开或常闭 | 无 | 常开或常闭 | 无 |
流量规格(N2) | (0～1,2,3,5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM | |||||||
准确度 |
| |||||||
线性 | ±0.5% F.S. | |||||||
重复精度 | ±0.2% F.S. | |||||||
响应时间 | ≤ 0.8sec （≤ 0.5sec optional） | |||||||
工作压差范围 | 0.05～0.35MPa 流量规格≤10SLM | ＜0.02 MPa | 0.05～0.35MPa 流量规格≤10SLM | ＜0.02 MPa | 0.05～0.35MPa 流量规格≤10SLM | ＜0.02 MPa | 0.05～0.35MPa 流量规格≤10SLM | ＜0.02 MPa |
温度系数 | 零点：≤±0.02% F.S./℃；调节时：≤±0.05% F.S./℃ | |||||||
耐压 | 3.5 MPa | |||||||
漏率 | 1×10-11 Pa·m3 / sec He | |||||||
密封材料 | 金属密封 | |||||||
大工作压力 | 0.45MPa | |||||||
工作环境温度 | （0～50）℃ | |||||||
输入信号 | 数字：RS485 或 DeviceNet | 无 | 数字：RS485 或 DeviceNet | 无 | 数字：RS485 或 DeviceNet | 无 | 数字：RS485 或 DeviceNet | 无 |
输出信号 | 数字：RS485 或 DeviceNet | |||||||
零漂 | 在没有零点校正时＜0.6%F.S./年 | |||||||
电源 | ±8～±16 VDC (双极) 或 +14～+28 VDC (单极) | |||||||
表面化学成分 | Cr/Fe比例≥2.0；CrO 厚度≥20 （埃） | - | ||||||
表面粗糙度 | Ra 5μinch | |||||||
标准接头形式 | VCR1/4阳接头； | 1.5″B型密封接头 | VCR1/4阳接头； | 1.5″B型密封接头 | ||||
电源接头形式 | D型9针阳接头；D型15针阳接头；DeviceNet接头 | |||||||
重量 | 1 Kg | 0.8Kg | 1.2Kg | 1Kg | 1 Kg | 0.8Kg | 1.2Kg | 1Kg |
