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FE-300 膜厚量测仪

型号
FE-300
参数
产地类别:进口 应用领域:医疗卫生,食品,电子,汽车,综合
大塚电子(苏州)有限公司

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      大塚电子(苏州)有限公司主要销售用于光学特性评价·检查的装置。其装置用于在LED、 OLED、汽车前灯等的光源·照明产业以及液晶显示器、有机EL显示器等平板显示产业以及其相 关材料的光学特性评价·检查。

  以高速·高精度·高可靠性且有市场实际应用的分光器MCPD系列为基础, 在中国的显示器 市场上有着20年以上销售实例, 为许多厂家在研究开发、生产部门所使用。并且在光源·照明 相关方面,对研究机构、各个厂家的销售量在逐步扩大。

  在中国的苏州有设立售后服务点,为了能迅速且周到的为顾客服务而努力。

  我公司的母公司日本大塚电子集团,隶属于大冢集团, 一直以来都谨守大冢集团 的企业理念「Otsuka-people creating new products for better health world wide」(大冢为人类的健康创造革新的产品),不断的推出创新产品,面向开展业务,为社会作出贡献。

 

详细信息

产品信息

特 长

薄膜到厚膜的测量范围、UV~NIR光谱分析

高性能的低价光学薄膜量测仪

藉由反射率光谱分析膜厚

完整继承FE-3000机种90%的强大功能

无复杂设定,操作简单,短時間內即可上手

线性小平方法解析光学常数(n:折射率、k:消光系数)

测量项目

  • 反射率测量

  • 膜厚解析(10层)

  • 光学常数解析(n:折射率、k:消光系数)

产品规格

样品尺寸

大8寸晶圆(厚度5mm)

测量时间

0.1s ~ 10s以內

量测口径

约φ3mm

通讯界面

USB

尺寸重量

280(W)× 570(D)×350(H)mm,约24kg

软体功能

标准功能

波峰波谷解析、FFT解析、适化法解析、小二乘法解析

选配功能

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

※1 请于本公公司联系联系我们
※2 对比VLSI标准样品(100nm SiO2/Si),范围值同保证书所记载
※3 测量VLSI标准样品(100nm SiO2/Si)同一点位时之重复再现性。(扩充系数2.1)

应用范围

半导体晶圆膜(光阻、SOI、SiO2等)
光学薄膜(OC膜、AR膜、ITO、IZO膜等)

测量范例

  • PET基板上的DLC膜

    item_0005FE-300_sub001.gif

  • item_0005FE-300_sub002.gif

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产品参数

产地类别 进口
应用领域 医疗卫生,食品,电子,汽车,综合
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