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日本thermocera高温阶段“基板加热”1800℃
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深圳市秋山贸易有限公司成立于2016年，本公司主要经营机械加工设备，食品加工设备，机电设备，电子能源相关设备，粉体制造设备，电子计测仪器，科学仪器，光电产品，检测仪器等。欢迎新老朋友咨询
详细信息
日本thermocera高温阶段“基板加热”1800℃
加热，板上/下板，板旋转，RF / DC板偏置
可以根据设备配置自由定制，Depo-Up和Down，定制板支架，板旋转/上/下/上/下，倾斜加热和反向溅射等各种功能都包含在该单元中。
各种加热丝：NiCr，石墨，CCC，Inconel，钨，钼，SiC / PBN / PG涂层，卤素灯和其他10种类型
总览基板加热阶段需要加热阶段，例如垂直提升机构（基板支架和加热头中的一个或两个），基板旋转，RF / DC基板偏压（反向飞溅RF / DC清洁）和加热部分倾斜。它是具有多种功能的“多合一”组件。我们可以满足对半导体制造设备和各种真空设备（气相沉积设备，溅射，CVD设备）的所有要求。 | ||
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2寸热舞台_800C
晶圆托盘_提起应用/用例◉半导体制造，薄膜的实验设备，RF / DC反溅射，PECVD，RIE等 |
加热部位规格◉NiCr加热器 | ||
各部分名称
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日本thermocera高温阶段“基板加热”1800℃
