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Contour 高精度三维形貌计量光学轮廓仪

型号
参数
产地类别:进口 产品种类:非接触式轮廓仪/粗糙度仪 价格区间:100万-200万 应用领域:医疗卫生,电子,交通,航天,汽车
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TTV 测试
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其他仪器:
四探针测试
离子减薄机

 

详细信息

Contour 高精度三维形貌计量光学轮廓仪融合了高级表征、可定制选项和易用性,可以提供快速、准确和可重复的非接触式三维表面计量方法。

它的操作和分析软件系统提供了更易于使用的界面和简洁的功能,可以访问多种预编程滤镜和分析工具,用于精密加工的表面,薄膜,半导体,眼科,医疗设备,MEMS和摩擦学等领域的测量分析。

满足计量要求,具有很好的Z轴分辨率和准确性,并在更小的占地面积内提供了布鲁克白光干涉仪(WLl)落地式型号所具备的业界认可的优点。它对反射率从0.05%到100  %的各种表面都非常易于测量。

Contour 高精度三维形貌计量光学轮廓拥有三款型号,分别是GT100、GT200、GT500,它们的技术参数如下:

型号GT100GT200GT500
图片GT100.jpgGT200.jpgGT500.jpg
样品台区别

手动样品台

1.png

自动样品台

2.png

高级自动化样品台

3.png

技术参数

扫描量程:≤10mm

垂直分辨率:<0.01nm

水平分辨率:0.38μm min(Sparrow criterion),0.13μm(with AcuityXR)

台阶高度准确性:<0.75%

台阶高度重复性:<0.1% 1 sigma repeatability

扫描速度:37μm/sec(with standard camera)

样品倾角:≤40°(shiny surfaces),≤87°(rough surfaces)

样品高度:≤100mm(4 in.)



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产品参数

产地类别 进口
产品种类 非接触式轮廓仪/粗糙度仪
价格区间 100万-200万
应用领域 医疗卫生,电子,交通,航天,汽车
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