光学系统

– 视场可达 300µm

– 集成光收集系统: 由朗伯体发射的光子有30%离开显微镜(在整个视场中是恒定的)

– 消色差反射物镜从180nm 到 1.6µm– 数值孔径: NA 0.71 (f/0.5)

光检测

– 色散光谱仪，带有两个成像出口(320毫米焦距)和一个3光栅转台(Attolight提供大量衍射光栅，以匹配您的应用)，电动入口和出口狭缝用于紫外可见光(200 nm–1100 nm)测的高速CCD摄像机， 速度>900光谱/秒

– 用于近红外(600 nm–1700 nm)检测的InGaAs摄像机速度>180光谱/秒

– 使用不同的探测器在200 nm–1700 nm范围内进行全色检测，速度>每像素50 ns

电子束感应电流(EBIC)

– 低噪音EBIC电路板

– 电流测量极限100fA

– 增益10^4到10^15V/A

– 带宽 100kHz

样品室与真空系统

– 无油真空泵组系统：用于电子枪和电子柱的吸气剂离子泵和用于样品室的涡轮分子泵

– 一般换样时间：20 min

– 真空门上配有电子馈通

纳米定位平台

– 6自由度，可任意移动(与低温恒温器兼容）

– 行程: 25mm (X,Y), 3mm (Z), 3° 倾斜(X,Y), 10° 旋转 (Z)

– 步进: 1 nm

– 整个行程范围内100 nm的重复性

– 坐标系统，便于精确定位和移动

低温恒温系统

– 温度范围从 10K 到室温，温度精度0.1 K

– *的数字温度控制器

– 温度为10 K时，每小时漂移小于300nm

系统控制和检测模块

– 同时进行CL（高光谱或全光谱图谱）、SEM和EBIC检测

– 半自动操作模式

– 直观的基于触摸屏的图形用户界面（GUI），用于快速样品定位和移动以及实时数据显示，以检查测量状态

– 图像分辨率为4K，高光谱图谱的分辨率为512×512像素，电子束停留时间最小为每像素50 ns

数据分析

– Attolight提供了强大的分析和解决方案。更多信息请参考单独的Attomap手册。

– 工具配置和CL数据同时保存，以便于工具配置的再现

– 通过网络轻松访问受密码保护的测量数据

– 导出为开放数据格式，为用户选择的数据分析软件提供灵活性

系统外形规格

– 占地面积：1219 mm（长）× 1039 mm（宽）

– 推荐使用面积：2017 mm（长）× 2426 mm（宽）

– 重量：~1110 kg