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VTC-600-2HD-1000 双靶磁控溅射仪

型号
VTC-600-2HD-1000
参数
应用领域:环保,化工,生物产业,电子,交通
上海添时科学仪器有限公司

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紫外可见分光光度计,原子荧光光度计,原子吸收分光光度计,紫外分光光度计,气相色谱仪,液相色谱仪,电子天平,旋光仪,熔点仪

上海添时科学仪器有限公司是一家代理国内外仪器的经销及技术服务的专业公司。国内管式炉,退火炉,气氛炉,真空感应熔炼炉,箱式炉,手套箱,研磨抛光机,电池测试恒温箱,金刚石线切割机,磁控溅射仪,蒸发镀膜,PECVD设备供应商!

公司所涉及的产品遍布大专院校、科研单位、工厂企业、商检、农业、食品、超市、治金矿山、建筑、石油、路桥等行业。

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公司宗旨:客户至上 诚信为本 开拓创新 成就*




详细信息

    双靶磁控溅射仪主要特点:

    1、配置两个靶枪,一个配套射频电源用于非导电靶材的溅射镀膜,一个配套直流电源用于导电性材料的溅射镀膜。

    2、可制备多种薄膜,应用广泛。

    3、体积小,操作简便。

    技术参数:

产品名称 VTC-600-1HD单靶磁控溅射仪
产品型号 VTC-600-1HD
安装条件 本设备要求在海拔1000m以下,温度25℃±15℃,湿度55%Rh±10%Rh下使用。
1、水:设备配有自循环冷却水机(加注纯净水或者去离子水)
2、电:AC220V 50Hz,必须有良好接地
3、气:设备腔室内需充注氩气(纯度99.99%以上),需自备氩气气瓶(自带Ø6mm双卡套接头)及减压阀
4、工作台:尺寸1500mm×600mm×700mm,承重200kg以上
5、通风装置:需要
主要参数 1、输入电源:220V/50Hz
2、溅射靶数量:2
3、靶枪冷却方式:水冷
4、极限真空度:7.4E-5pa
5、真空室规格:Φ300×330 mm
6、真空系统:VRD-16机械泵 FF-100/150涡轮分子泵
7、恢复真空:系统从大气抽至5.0E-3pa≤30 min(系统短时间暴露大气)
8、充气系统:2路质量流量计(1路氩气100scc、2路氩气200scc)特殊气体可定制
9、溅射靶规格:Φ2",厚度0.1-5mm(因靶材材质不同厚度有所不同)
10、样品台:Φ140mm/可旋转(1~20rpm)/可加热(室温~1000℃)
产品规格 主机尺寸:宽900mm×深650mm×高1100mm

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产品参数

应用领域 环保,化工,生物产业,电子,交通
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