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CPC15/35/80/120/150 CIF生产型等离子清洗机

型号
CPC15/35/80/120/150
参数
产地类别:国产 应用领域:环保,化工,能源,电子
华仪行(北京)科技有限公司

高级会员10年 

生产厂家

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半导体领域仪器设备:等离子清洗机、紫外臭氧清洗机、匀胶机、烤胶机等。 理化实验室仪器设备:酸蒸逆流清洗器、真空赶酸系统、酸纯化器、智能消解仪、恒温电热板等

企业历程 :

◆ 2006 年,在美国加州洛杉矶注册成立赛福国际集团有限公司(CIF International Group Co.,Ltd)。成立之初是一 家面向大学科研院所销售仪器设备的供应商。

◆ 2008 年, 自主研发生产石墨电热板以来, 先后研发生产酸蒸逆流清洗器、酸纯化器、智能消解仪等理化实验仪器设备, 从此走上研发生产专业化道路。

◆ 2010 年,掌握了等离子核心技术,自主研发生产科研型等离子清洗机系列产品。

◆ 2014 年, 在中国注册成立华仪行(北京) 科技有限公司, 正式进入中国市场, 部分仪器设备研发、制造业务移至中国。

◆ 2015 年,自主研发生产专为处理粉体样品而设计转瓶等离子清洗机。

◆ 2017 年,自主研发生产紫外臭氧清洗机系列产品。

◆ 2018 年,在中国成注册立赛福仪器承德有限公司,将研发制造业务全部移至中国。

◆ 2019 年,电镜专用远程等离子清洗机研发成功。

◆ 2021 年,自主研发生产中试、生产型等离子清洗系列产品,完善了等离子产品线。

◆ 2023 年,科研型等离子去胶机、RIE 蚀刻机研发成功。


公司专注材料表面处理技术:

◆ 改性(等离子清洗机、紫外臭氧清洗机)                   ◆ 去胶(等离子去胶机)

◆ 蚀刻(等离子刻蚀机)                                              ◆ 涂层(等离子溅射镀膜机、匀胶机、烤胶机)

企业愿景:

致力于为全球用户提供专业的表面处理整体解决方案。

企业使命:

CIF与我们的员工、客户乃至商业伙伴在内的所有人,同呼吸,共命运,共同成长,共同发展,共同成就梦想!


详细信息

产品特点

◆  7 寸彩色触摸屏中英文互动操作界面,自动监测工艺参数状态,20 个配方程序,可存储、输出、追溯工艺数据。

◆  PLC 工控机控制整个清洗过程,手动、自动两种工作模式。

  采用质量流量计,  气体流量控制更准确。标配双路气体输送系统,   可选多气路气体输送系统。可输入氧气、氩气、氮气、 四氟化碳、氢气或混合气体等气体。

◆  采用多孔道进气方式,改变传统等离子清洗机单孔进气不均匀问题。

◆  HEPA 高效过滤,气体返填吹扫,防止二次污染。

◆  316 不锈钢真空舱,洁净无污染。

◆  全真空管路系统采用 316 不锈钢材质。

◆  处理高效均匀,效率高,工艺重复性好。

◆  合理的结构设计,设备占用空间小。

◆  可处理各种材质、形状、尺寸样品。

◆  样品处理温度低,无热损伤和热氧化。

◆  使用成本低、耗损小。

◆  产品性能稳定,安装维护,简单方便。

◆  安全保护,舱门打开,自动关闭电源。

◆  机器运行、停止提示。


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 技术参数

型号

CPC15

CPC35

CPC80

CPC120

CPC150

舱体尺寸

W240xH240

xD260mm

W320xH320

xD350mm

W420xH400

xD500mm

W500xH500

xD450mm

W500xH500

xD600mm

舱体容积

15L

35L

80L

120L

150L

舱体材质

不锈钢

不锈钢

不锈钢

不锈钢

不锈钢

有效尺寸

W240xD230mm

W320xD323mm

W420xD468mm

W500xxD420mm

W500xxD565mm

电极分布

2 层

3-4 层

6 层

8-10 层

10-15 层

射频电源

13.56MHz

13.56MHz

13.56MHz

13.56MHz

13.56MHz

射频功率

0-300W

0-300W

0-600W

0-1000W

0-1000W

匹配器

自动匹配器

激发方式

电容式

电流

1.2A

时间设定

9999 秒

气体稳定 时间

1 分钟

真空度

100pa 以内

控制系统

7 寸 PLC 触摸屏控制

工艺气体

2 气路 MFC  (可选装 3 路)

产品尺寸

L625xW600

xH760mm

L625xW600

xH805mm

L905xW845

xH1940mm

L625xW600

xH760mm

L905xW845

xH2010mm

包装尺寸

L740xW775

xH1000mm

L740xW775

xH1045mm

L1015xW1065 xH2050mm

L1015xW1065 xH2120mm

L1015xW1065 xH2120mm

真空泵

抽速约 8m³/h

抽速 16m³/h

抽速 40m³/h

抽速 60m³/h

抽速约 60m³/h

电源

AC220V

50/60Hz 552W

AC220V

50/60Hz 552W

AC380V

50/60Hz 902W

AC380V

50/60Hz 1302W

AC380V

50/60Hz 1302W

整机重量

108kg

135kg

465kg

485kg

575kg

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产品参数

产地类别 国产
应用领域 环保,化工,能源,电子
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