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Bruker 全自动原子力显微镜 InSight CAP
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详细信息
Bruker 全自动原子力显微镜 InSight CAP
——紧凑型高性能剖面仪和AFM
Bruker的InSight CAP自动原子力轮廓仪是专门为半导体制造商和供应商设计的CMP和蚀刻计量组合平台。灵活的配置支持从100毫米到300毫米的晶圆尺寸，可实现广泛终端应用的精确测量。从高生产率的实验室到全自动化的工厂，InSight CAP profiler可以优化配置，以获得具成本效益的计量解决方案。
·< 0.5 nm长期动态再现性
用于关键工艺决策的直接、稳定的在线计量
·亚纳米
CMP自动计量的灵敏度，专用碟形和腐蚀计量包，用于过程控制和开发
·<20nm
仿形平面度大于26mm
针对关键EUV光刻技术开发和过程控制的高精度CMP后平面度计量
Bruker 全自动原子力显微镜 InSight CAP
在线计量结果以分钟为单位，适用于蚀刻和CMP的技术开发和过程控制
在节点，多模式光刻技术对CMP提出了纳米级的过程控制要求，以满足聚焦深度需求。InSight CAP围绕新一代AFM扫描仪构建，在65μm X/Y扫描范围内提供改进的平坦度，小于10纳米。该系统的NanoScope®V 64位AFM控制器提供了5倍更快的啮合性能和5倍更快的调整速度，以提高生产效率，所有这些都提高了可靠性。其DT自适应扫描模式也有助于加快扫描速度和改进计量。InSight CAP高分辨率剖面仪结合了多项先进功能，可在宏观凹陷和侵蚀中实现埃级精度测量。
灵活的配置支持从100毫米到300毫米的晶圆尺寸，可实现广泛终端应用的精确测量。从高生产率的实验室到全自动化的工厂，InSight CAP profiler可以优化配置，以获得具成本效益的计量解决方案。
