美国粒子监测系统公司（PMS）推出的Ultra DI® 20液体粒子计数器，专为超纯水系统而设计，可快速获得有统计意义的数据，并对小至20纳米的污染物进行计数和尺寸测定。即便仪器移动，也能达到数据一致性，有助于您获得更多统计信息以实现更好的过程控制。Ultra DI 20液体粒子计数器实现了低零计数、大采样量、高计数效率，可提供粒子对标检测。最小可监测20纳米聚苯乙烯乳胶（PSL）和9纳米金（Au），更高灵敏度可以更快监测出制程变化。

UDI-20是PMS推出的具有良好灵敏度的产品之一，这意味着市场上找不到比这更灵敏的产品，而只有PMS能提供多种产品系列以满足不同的监测需求。目前，在超纯水、化学品和空气分子污染物监测方面，PMS产品均表现出良好的的监测性能、灵敏度和可靠性。PMS以知识、技术和服务，为高科技企业和化学制造公司提供良好的工具，使其能够基于数据做出精准决策，提高业绩和产量。

特点

• 良好的激光光学技术和传感器能够检测到小至20纳米的粒子（9纳米金）

• 在18至29°C的操作环境下通过对粒子进行热稳定测量，以实现不同仪器间数据稳定性和匹配度

• 每毫升<10个粒子的浓度下，仪器间匹配度在20%以内

• 可与全球各地任何环境条件下多个晶圆厂的超纯水系统性能媲美

• 集群管理器可互换，不会出现中断或产生数据问题

• 两种计数模式：1）高分辨率——用于高纯净环境；2）高浓度——用于过滤器挑战测试和低纯净环境

• 通过4-20mA直接连接至可编程控制器（PLC）和监控数据采集（SCADA）系统，并通过以太网通信来利用现有网络

• 粒子计数器数据本地显示

• 该粒子计数器拥有更大样品量和超低的零计数，从而能获取更多相关统计数据来实现更小的误差偏离

• 通过以太网通信来利用现有网络

• 通过4-20mA直接连接至可编程控制器（PLC）和监控数据采集（SCADA）系统

• 与臭氧水兼容

• 采用不锈钢外壳和双HEPA-级过滤，供洁净环境下使用

优势

• 全新设计省去了环境保护柜的额外购买价格和维护成本

• 通过实时粒子测量，对污染作出即时反应

• 快速获得有意义的统计数据，以检测粒子的误差偏离，并排除问题

• 快速清理样品，缩短了从一个采样点转移到另一个采样点的时间

• 采用更短采样间隔，加快分析时间

• FacilityNet软件提供更复杂的过程控制

• 通过降低样品间差异来实现更严格的过程控制限值设定

应用场景

• 对超纯水（UPW）系统中的粒子浓度进行量化

• 过滤器效率测定

• 在更低粒子浓度下进行趋势分析

• 检测超纯水系统中的细菌生长情况

• 偶发事件的跟踪和报警

• 对系统进行连续的粒子监测

• 制造流程控制

   

使用的具体步骤：  

1.被检测的过滤器必须已经经过风量的测试，在设计风速的80%-120%之间运行。  

2.被检测的高效过滤器上风侧一定要确定大气尘的微粒数，以大于或等于0.5mm微粒为标准，其浓度必须大于或等于3.5×10^4粒/L。  

3.如果检测的是超高效过滤器的话，则以大于或等于0.1mm微粒为准，其浓度必须大于或等于3.5×10^6-3.5×10^7粒/L。  

4.如果过滤器的上风侧浓度不符合以上规定的话，则应该引入不经过滤的空气；如果经过测试还不能达到规定的话，则不宜使用粒子计数器法进行检测。  

5.检漏的时候要注意将采样口放在距离被检测过滤器表面的2-3CM处，并且以5-20MM/S的速度移动。  

6.不要忘记对被检测过滤器的整个断面、封头胶和安装框架处进行多方面的扫描。