参考价：¥100万-150万
QBT-A 双腔室高真空等离子体ALD系统
- 型号
- QBT-A
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ALD，PVD，CVD，原子层沉积设备 原子层沉积系统
厦门韫茂科技有限公司成立于2018年，由硅谷海归团队创立，核心成员拥有超20年薄膜沉积工艺及设备开发产业化经验，2021年入选高新技术企业，2022年入选厦门专精特新技术企业，是一家以纳米级薄膜沉积工艺技术为核心的多领域全栈式薄膜沉积方案供应商，为客户提供全面的技术解决方案以及先进的纳米材料薄膜沉积装备，针对先进制造国产化的痛点，开发自主设备。
详细信息
一、双腔室高真空等离子体ALD系统核心参数：
价格区间：100万-200万
产地类别：国产原子层沉积系统（ALD）
衬底尺寸：Ф200mm
工艺温度：RT-500±1ºC
前驱体数：最大可包括3组等离子体反应气体4组液态或固态反应前驱体
重量：300KG
尺寸(WxHxD)：1400*1000*1900mm
均匀性：均一性<1%
二、双腔室高真空等离子体ALD系统应用原理分析：
原子层沉积（Atomiclayerdeposition)是通过将气相前驱体脉冲交替地通入反应腔体内并在沉积基体上化学吸附并反应而形成沉积膜的一种技术，具有自限性和自饱和。原子层沉积技术主要应用是在各种尺寸和形状的基底上沉积高精度、无针孔、高保形的纳米薄膜。
等离子体增强原子层沉积(PlasmaEnhancedAtomicLayerDeposition，PEALD)是对ALD技术的扩展，通过等离子体的引入，产生大量活性自由基，增强了前驱体物质的反应活性，从而拓展了ALD对前驱源的选择范围和应用要求，缩短了反应周期的时间，同时也降低了对样品沉积温度的要求，可以实现低温甚至常温沉积，特别适合于对温度敏感材料和柔性材料上的薄膜沉积。
三、厦门韫茂科技有限公司为您提供参数、价格、型号、原理等信息，产地为福建、品牌为韫茂，型号为QBT-A，价格为100万-200万RMB，更多相关信息可咨询，公司客服电话7*24小时为您服务。
四、主要技术参数：
价格区间：100万-200万
产地类别：国产原子层沉积系统（ALD）
衬底尺寸：Ф200mm
工艺温度：RT-500±1ºC
前驱体数：最大可包括3组等离子体反应气体4组液态或固态反应前驱体
重量：300KG
尺寸(WxHxD)：1400*1000*1900mm
均匀性：均一性<1%
二、双腔室高真空等离子体ALD系统应用原理分析：
原子层沉积（Atomiclayerdeposition)是通过将气相前驱体脉冲交替地通入反应腔体内并在沉积基体上化学吸附并反应而形成沉积膜的一种技术，具有自限性和自饱和。原子层沉积技术主要应用是在各种尺寸和形状的基底上沉积高精度、无针孔、高保形的纳米薄膜。
等离子体增强原子层沉积(PlasmaEnhancedAtomicLayerDeposition，PEALD)是对ALD技术的扩展，通过等离子体的引入，产生大量活性自由基，增强了前驱体物质的反应活性，从而拓展了ALD对前驱源的选择范围和应用要求，缩短了反应周期的时间，同时也降低了对样品沉积温度的要求，可以实现低温甚至常温沉积，特别适合于对温度敏感材料和柔性材料上的薄膜沉积。
三、厦门韫茂科技有限公司为您提供参数、价格、型号、原理等信息，产地为福建、品牌为韫茂，型号为QBT-A，价格为100万-200万RMB，更多相关信息可咨询，公司客服电话7*24小时为您服务。
四、主要技术参数：
五、测试结果展示：
