一、激光退火设备 产品参数：

1. 应用范围：对重掺杂碳化硅（SiC）表面沉积的过渡金属进行退火，形成良好的欧姆接触

2. 加工尺寸：4inch、6inch                                                                                                      

3. 加工速度：1000mm/s

4. 加工精度：±1μm

5. 平台参数：行程300mm×300mm

6. 重复定位精度：±0.001mm

7. 激光器参数:紫外

8. 稼动率:98%以上

9. 重大故障间隙时间:＞1000H

10.良率:≥99.5%                              

二、激光退火设备 公司介绍：

深圳市矢量科学仪器有限公司是集半导体仪器装备代理及技术服务的高新技术企业。

致力于提供半导体制程工艺装备、后道封装装备、半导体分析测试设备、半导体光电测试仪表及相关仪器装备维护、保养、售后技术支持及实验室整体服务。

公司已授实用新型权利 29 项，软件著作权 14 项，是创新型中小企业、科技型中小企业、规模以上工业企业。