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Huace-6 中端探针台
北京华测试验仪器有限公司( 简称: 华测仪器) 为高新技术企业，专注于绝缘材料与先进功能新材料电性能检测以及材料电学测控设备的研发、生产、销售和服务，目前公司产品已应用于全国二十多个省、市、自治区。
公司有功能材料、电气绝缘材料两个电学试验室；涉及材料测试仪器、器件的放大、调理、采集、控制；传感器性能综合评价等相关仪器。
产品系列：先进功能材料电学综合测试系统、绝缘诊断测试系统、高低温介电温谱测试仪、极化装置与电源、高压放大器、PVDV薄膜极化、高低温冷热台、铁电压电热释电测试仪、绝缘材料电学性能综合测试平台、电击穿强度试验仪、耐电弧试验仪、高压漏电起痕测试仪、冲击电压试验仪、储能材料电学测控系统、压电传感器测控系统。
详细信息
Huace-6 中端探针台
产品简介：
Huace-6 中端探针台是一种辅助执行机构，测试人员把需要量测的器件放到探针台载物台（chuck）上，在显微镜配合下，X-Y移动器件，找到需要探测的位置。接下来测试人员通过旋转探针座上的X-Y-Z的三向旋钮，控制前部探针（射频或直流探针），精准扎到被测点，从而使其讯号线与外部测试机导通，通过测试机测试人员可以得到所需要的电性能参数。
产品特点及应用：
◆ 满足I-V/C-V，PIV测试，光电测试等；
◆ 可用于8英寸以内样品测试；
◆ 同轴丝杠传动结构，线性移动；
◆ 兼容高倍率金相显微镜，可微调移动；
◆ 可升级做射频，大电流方面的测试和激光修复应用；
技术参数：
台体规格 | |
尺寸 | 4英寸/6英寸/8英寸 |
水平旋转 | 可360°旋转，可微调15°，精度0.1°，带角度锁死装置 |
X-Y移动行程 | 4英寸×4英寸/6英寸×6英寸 |
X-Y移动精度 | 10μm/1μm |
样品台Z轴调节 | 可升降10mm |
样品固定 | 真空吸附，中心吸附孔，多圈吸附环 |
针座平台 | U型针座平台，zuiduo可放置6个探针座 |
背电极测试 | 样品台电学独立悬空，4mm插孔可接背电极 |
外形尺寸 | 400mm长*400mm宽*600mm高/580mm长*480mm宽*600mm高 |
设备重量 | 约20KG |
光学系统 | |
显微镜类型 | 单筒显微镜/体式显微镜 |
放大倍率 | 16X-200X/20X-4000X |
移动行程 | X-Y轴行程2英寸*2英寸，Z轴行程50.8mm |
光源 | 外置LED环形光源/同轴光源 |
CCD | 200万像素/500万像素/1200万像素 |
定位器 | |
X-Y-Z移动行程 | 12mm*12mm*12mm |
移动精度 | 10μm/2μm/0.7μm/0.5μm |
吸附方式 | 磁力吸附，真空吸附 |
线缆 | 同轴线/三轴线 |
漏电精度 | 10pA/100fA/10fA |
固定探针 | 弹簧固定/管状固定 |
接头类型 | BNC/三轴/香蕉头/鳄鱼夹/接线端子 |
针尖直径 | 0.2μm/1μm/2μm/5μm/10μm/20μm |
针尖材质 | 钨钢；铍铜 |
可选附件：
加热台；
显示器；
转接头；
射频测试配件；
屏蔽箱；
光学平台；
镀金卡盘；
光电测试配件；
高压测试配件；
显微镜快速倾仰装置；
激光系统；
探针卡夹具；
探针台可根据客户要求定制。
