$item.Name

首页>常用仪表>光学仪表>干涉仪

Profilm 3D 白光干涉仪

型号
Profilm 3D
参数
产地类别:进口 应用领域:综合
深圳市锡成科学仪器有限公司

高级会员2年 

代理商

该企业相似产品

多模组三维光学轮廓仪

在线询价
台阶仪,光学轮廓仪,电化学工作站,纳米压痕仪,力电联测材料试验机,介电温谱测量系统,电阻测试仪,原子力显微镜,光学显微镜

深圳市锡成科学仪器有限公司自成立以来,一直秉承诚信经营的理念,充分考虑客户的技术需求及资金预算,为广大客户推荐合适的产品及服务。

 

我们自研及代理的国内外多种仪器设备,广泛应用于材料、电子、新能源、建筑、环保及化工等领域,用户涵盖各类高校、研究所、企业实验室和质检部门等。在样品制备、分析测试材料及器件的性能表征等方面,深受用户认可。

 

我们将一如既往,努力为客户提供完善的实验室一站式服务。

详细信息

白光干涉仪

Profilm 3D

支持垂直扫描和移相干涉测量法高分辨率地测量亚纳米级的表面形貌。采用TotalFocus 技术,可以产生令人惊叹的 3D 自然彩色图像,每个像素都处于聚焦状态。


在 Profilm3D 测量技术中,测量的垂直分辨率不依赖于物镜的数值孔径,能够同时以大视场进行高分辨率的测量。通过将多个视场拼接到单次测量中,可以进一步增大测量区域。


应用范围

ª 从纳米级到毫米级的3D台阶高度

ª 3D粗糙度、波纹度、翘曲度和形状,纹理表征

ª 3D缺陷表面形貌、缺陷表征

ª 大型透明薄膜的表面进行高分辨率扫描

ª 高粗糙度,低反射率,划痕表征

ª 3D边缘轮廓测量


2mm宽视野

Profilm3D以10倍物镜提供2毫米视野,提供手动或自动物镜切换炮塔等配置,适用于多物镜使用场合

自动样品台

100 /200mm自动XY样品平台,自动对焦,Tip-Tilt功能

长程扫描

500μm长压电行程范围内自动对焦,可扫描高度相隔甚远的多个表面

粗糙度成像增强

粗糙度增强模式 (ERM) 可提高条纹对比度,从而提高透镜等斜率较大的表面的保真度,并改善了粗糙表面上的信噪比


移相干涉成像(PSI)

移相干涉技术可精确测量亚纳米级的表面特征                    

 image.png


TotalFocus 无限景深成像

由于高倍物镜景深较小,传统显微技术无法观察整个视野,TotalFocus可提供全视野像素级聚焦,可在对焦每个像素时捕捉到真彩色3D图像。此功能可用于分辨具有不同光学特性的材料之间的边界。

image.png


光学性能                                                                   机械规格

主要参数

WLI(VSI

PSI(选配)


Z轴行程

100mm

厚度量程

50nm~10mm

0~3μm


Pizeo(压电)行程

500μm

RMS重复性

1.0nm

0.1nm


垂直扫描速度

12μm/

台阶高度精度

0.7%


相机

2592 x 19445MP

台阶高度重复性

0.1%


相机变焦

1×,2×,4×

样品反射率

0.05%~100


Tip-Tilt样品台

±5°,手动


白光干涉仪






相关技术文章

同类产品推荐

相关分类导航

产品参数

产地类别 进口
应用领域 综合
企业未开通此功能
详询客服 : 0571-87858618
提示

请选择您要拨打的电话:

当前客户在线交流已关闭
请电话联系他 :