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UR421-T/UR600 ULVAC 爱发科 多级罗茨型干泵 原装现货

型号
UR421-T/UR600
参数
产地类别:进口 产品类型:无油泵 价格区间:2万-3万 仪器种类:真空泵 应用领域:化工,生物产业,农业,建材,综合 供货号:137.1702.5688
深圳市京都玉崎电子有限公司

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光学设备、电子计测仪器、科学仪器、机械加工设备、环境试验设备、PC周边用品、作业工具用品、电源、化学用品、FA自动化

京都玉崎株式会社创立于平成15年,位于日本大阪市,是一家日本综合贸易商社。随着我国的汽车行业、半导体行业和新能源行业井喷式的增长,对各行业要求也越来越高,逐步趋向高度复杂化。继而京都玉崎株式会社于平成22年决定正式进入中国开拓业务市场,创立了深圳市京都玉崎电子有限公司。

 

深圳市京都玉崎电子有限公司是京都玉崎株式会社全资设立的中国子公司,专业从事国内贸易/国际贸易业务,主要经营光学设备、电子计测仪器、科学仪器、机械加工设备、环境试验设备、PC周边用品、作业工具用品、电源、化学用品、FA自动化类上万种产品的销售。公司凭借渠道管理能力, 可控的交期和匹配的物流体系, 科学严谨的产品质量, 专业的线下服务能力,为客户提供极有竞争力的价格以及技术支持。

 

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京都玉崎株式会社坚持以人为本,与员工共进步,与客户共携手,与社会共生存,以实现‘共存’为**目标。

 

 

 

 

详细信息

ULVAC 爱发科 多级罗茨型干泵  原装现货

ULVAC 爱发科 多级罗茨型干泵  原装现货

  • 特点

  • 高温区域均热化
    实现将CVD、蚀刻等工艺中产生的升化性排气物质以气体状态排出。
    UR系列可比HR系列更加高温化。

  • 氦气密封
    通过搭载屏蔽电动机形成密闭结构,非常安全。

  • 瞬停对策
    采取了1000msec以内瞬停对策。

  • 出色的耐腐蚀性
    主要零部件均采用表面硬度高、高耐腐蚀性的特殊表面处理。降低腐蚀性气体排气时对泵内部的腐蚀。

  • 通信功能
    可读取与泵运转状态相关的数据、警告/报警履历。如果使用专用软件进行计算机通信,则可实现集中监控。


       用途

  • CVD装置

  • 蚀刻装置

  • 灰化装置

  • ALD、ALH 等


规格

型号UR421-TUR600UR1200UR1800UR3601-TT
使用泵干式真空泵
UR421-T
UR90UR90UR180UR421-T
机械增压泵-PRC-006APRC-012APRC-018APRC-036C-T
最大
排气速度
50Hz410 m3/h
(6833 L/min)
653 m3/h
(10883 L/min)
1012 m3/h
(16867 L/min)
1701 m3/h
(28350 L/min)
2700 m3/h
(45000 L/min)
到达压力
5.0 Pa
最大排气压力(吸入圧力)大气压
最大排气口压力
(排出圧力)
1.0~ 大气压 Pa
吸气口 (CE规格)VG100
VG80(NW80)
VG100(NW100)
VG150(NW100)
VG150
排气口VG50
NW40
NW50
质量415 kg370 kg403 kg553 kg720 kg
电源 *2三相180~240 VAC/
380~440 VAC
(50/60 Hz)
200 VAC(50/60 Hz) /220 VAC(60 Hz)180~240 VAC/
380~440 VAC
(50/60 Hz)
电流值稳定时23 A(at 200V)16.4 A(at 200V)18.9 A(at 200V)29.2 A(at 200V)
20.5 A(at 400V)
39.8 A(at 200V)
20.5 A(at 400V)
最大值52.5 A(at 200V)17.3 A(at 200V)22. 4 A(at 200V)34.9 A(at 200V)
40.5 A(at 400V)
68.3 A(at 200V)
40.5 A(at 400V)
冷却水一次压力0.2~0.5 Mpa0.1~0.3 Mpa0.2~0.5 Mpa
冷却水出入口压差>0.2 Mpa>0.1 Mpa>0.1 Mpa>0.1 Mpa>0.2 Mpa



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产品参数

产地类别 进口
产品类型 无油泵
价格区间 2万-3万
仪器种类 真空泵
应用领域 化工,生物产业,农业,建材,综合
供货号 137.1702.5688
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