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SBC-12小型离子溅射仪
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扫描电子显微镜，离子溅射仪，电镜附属设备
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详细信息
产品介绍：
SBC-12离子溅射仪 主要用于扫描电子显微镜镀覆导电膜制备或电极制备等，通常是中小型扫描电子显微镜制样的仪器。
主要用途：金、铂、钯、金钯合金、铂靶合金、银、铜、锑、锡、锌、铟、镁等离子溅射
SBC-12小型离子溅射仪规格及技术指标：
玻璃处理室 ： 内径Ф 100毫米 x 高度130毫米
试样台尺寸 ： 内径Ф 40毫米, 可同时放六个φ13样品杯
金靶尺寸 ： Ф58毫米
真空系统 ： 直联旋片真空泵1升/秒
真空检测 ： 皮氏计
真空保护 ： 20Pa，配有微量充气阀调节工作真空
工作室工作媒介气体： 空气或氩气，配有氩气专用进气口和微量充气调节。
质保期 ：一年
SBC-12小型离子溅射仪 配置单：
序号 | 项目 | 规格 | 数量 |
1 | 溅射仪主机 | SBC-12 | 1台 |
2 | 机械泵 | RVD-1 | 1台 |
3 | 金靶 | Φ58*0.12 | 1片 |
4 | 玻璃罩 | Φ130*100 | 1个 |
5 | 油雾过滤器 | - | 1个 |
