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TORR-H-4W-B550-4VF4VF 日本日酸TANAKA二次高压用压力调节器减压阀
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- TORR-H-4W-B550-4VF4VF
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详细信息
日本日酸TANAKA二次高压用压力调节器减压阀 TANAKA日酸 TORR-H-4W-B550-4VF4VF 特点介绍
●TORR系列是凭借长期的业绩获得高度信赖的“半导体气体用压力调整器的代名词”的压力调整器。
●组装全部在0.3μm级1000的洁净室进行。
●在一次室的流路内置过滤器，减少了内部泄漏的发生。
●包括泄漏测试在内的全部出货检验。
●还可制作电解研磨规格品（。接触气体金属部表面粗糙度Ra0.25微米）
●TORR-H系列是可进行二次侧高压控制的机型。（最大15MPa）
日本日酸TANAKA二次高压用压力调节器减压阀 TANAKA日酸 TORR-H-4W-B550-4VF4VF 规格参数
●使用材质（TORR-H）接触气体部主体:活塞:过滤器:压力表:接头:其他接触气体部:非接触气体部盖:调压手柄用例:SUS316LSUS316Lsus316SUS318、氟树脂、氟橡胶C3604S45C
●性能入口侧最高使用压:出口侧最高使用压:最大流量:使用温度:重量:内置过滤器过滤过度:出入口口径:外部泄漏量:20M Pa15MPa800L/min（或）P1=13MPa、P2=12MPa、N2气体）-5～40°C2.0kg2μm1/4"1.3 10-7Pa m3/sec以下
