所有条件下的压力控制

61.3控制蝶阀具有的压力控制性能。凭借其快速精确的动作控制器（0.1 s） 它是CVD和ALD工艺中精细控制的解决方案。该板起到节流元件的作用，并改变阀门开口的传导率。61.3的集成压力控制器计算所需的板位置，以尽可能快地达到设定压力。

它特别适用于气流中有颗粒的苛刻下游工艺。61.3保持运行，尽管按照设计颗粒载荷和碎片堆积很高。

61.3系列已经在各种工艺条件下安装在数千个苛刻的应用中，证明了其的可靠性。61.3系列具有坚固的设计和直接安装选项，以及减少和易于维护，在各个方面都令人信服。

车身材料、表面等多种设计选项

61.3控制蝶阀有铝或不锈钢两种材质，带ISO-KF和ISO-F标准法兰连接器。可集成客户专用法兰以及带绝缘的集成加热器等特殊功能。可根据要求提供各种FFKM/FKM弹性体（FKM为标准）。

61.3控制蝶阀的主要特点

特征：

出色的压力控制

操作非常快

用于本地操作的车载软件

在苛刻的工艺条件下可靠运行

优点：

更好的过程可控性

高正常运行时间/不受限制的性能

运营成本低

高温高压过程中可靠的压力控制和隔离

62.0角度控制阀系列是具有高压和/或高温环境（如ALD或CVD）的真空工艺的理想选择。最高工作温度为200 °C的62.0提供了异常精确的压力控制性能。由于其电动线性驱动执行器，打开和关闭循环可以以非常平稳和精细的控制以低的最小电导进行操作。集成的软泵控制功能通过避免与大多数传统气动驱动致动器相关的压力峰值来增加这一点。