随着电气电子设备的小型化和多功能化，仪器的零部件也不断微型化，因此超小型高性能的半导体零部件和传感器等光学元件被广泛应用。在微型化设备和零部件中，微米级的微小异物可能会导致仪器发生运行故障。因此为了防止此类问题的发生，查明异物来源极其重要。
岛津公司的异物自动分析系统（红外显微镜）AIM-9000 采用将微小部分作为测定目标的光学设计，可以在短时间内获得微米级异物的清晰光谱。本文向您介绍使用本系统对光学元件表面附着的约10μm微小异物进行测定的示例。
岛津异物自动分析系统（IRTracer-100 和红外显微镜AIM-9000）
了解详情，敬请点击《光学元件上微小异物的测定–采用红外显微镜AIM-9000 进行扫描和识别》
