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实验电炉的品种很多,但大致能够从以下几个方面分类:
一、从炉膛形状上大体可分为:箱式电阻炉和管式的电阻炉。
二、从操作程序上可分为:人工编程电阻炉和人工智能电阻炉。
三、从试验所需氛围条件可分为:氧化氛围电阻炉和真空氛围电阻炉。
四、从高温度上可分为:低温电阻炉(600℃以下),中温电阻炉(600℃-1000℃),高温电炉(1000℃-1700℃),超高温电炉(1800℃-2600℃)。
双通道ALD管式炉系统
大面积双管石墨烯生长炉
1200℃等离子增强HPCVD回转炉系统
1700°C二通道混气高真空CVD系统
1200℃三温区三通道混气CVD系统
1100℃小型高真空熔炼炉
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