测定方法：
①在防静电的室内(丙烯树脂制、不锈钢制)设置气缸
②提供与颗粒计数器吸入量（28.3/min）相同流量的洁净空气（0.1μm过滤器）
③在不动作状态，确认颗粒计数器的值为“0”
④使气缸动作,测量动作中产生的颗粒
※使用带密封的测试室,以确保除气缸发尘外,其他的颗粒不进入室内
测定条件：
空气质量
气缸驱动用：「等级2.2.1」（JISB8392－1）
净化用：「等级2.2.1」＋0.1μｍ气体过滤器
气缸供应压力：0.5MPa
气缸动作速度：一般速度（200mm/s）
动作条件：无负荷、水平设置（与净化流量平行）
对排气处理型的溢流气口配管，排放到测试室外
对真空除尘型的真空除尘气口配管，进行真空除尘（－26KPa）
