技术文章

奥林巴斯OLYMPUS MX63L显微镜在FAB厂中的应用

苏州锐纳微光学有限公司 >> 进入商铺

2019/1/9 10:52:26

奥林巴斯OLYMPUS MX63L显微镜在FAB厂中的应用

半导体这个大家在熟悉不过的一个名字,它的应用在我们生活中的各个方面,小到手表手机,大到汽车飞机宇航船等!随着检测工艺要求的提高,对半导体精度和体积都有了非常高的要求,其中晶圆片(IC)生产工艺已经达到纳米的级别,那么对晶圆检测都使用什么来进行检测呢?

首先晶圆有4寸,6寸,8寸,12寸,现阶段主流的是8寸晶圆,在对其进行检测使用的是光学显微镜,其放大倍数到1000倍,主要是观察表面是否有划痕划伤等表面检测,OLYMPUS MX63L搭载12寸平台,也就是说这个显微镜可以检测所有尺寸的的晶圆片。

FAB厂中因为生产量大,而且还要对每一个晶圆片进行检测,所以OLYMPUS MX63L还可以和晶圆半送机配套使用,这样就减少了人用手来接触而造成污染。

生产工艺要求越来越高,所有配备的OLYMPUS MX63L显微镜可以在生产中得到率,提升晶圆的良率!

 

相关产品

猜你喜欢

当前客户在线交流已关闭
请电话联系他 :