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常用的磨损表面形貌观察手段有体视显微镜、扫描电镜, 但不具备表面形貌特征的数字化描述功能;常用的粗糙度测量手段有干涉仪、粗糙度仪等,但是不能对磨损表面形貌进行观察。先进的磨损表面形貌分析、表征设备要求在观察到磨损表面形貌的同时能得到准确的表面形貌数据以便能进行进一步的分析。而三维激光共聚焦显微镜（三维形貌轮廓测量仪）的出现弥补了这一缺陷, 同时具备磨损形貌观察以及数字化描述的功能, 能方便、准确地对磨损表面形貌进行深入研究 。粗糙度是数字化描述磨损表面形貌特征的常用的一些参数,都可以通过调整配置即可对磨损表面粗糙度特征进行描述, 在此基础上对不同磨损形态的磨损表面形貌进行分析。
磨损是材料常见的表面失效现象,粗糙度是数字化描述材料磨损表面形貌特征的常用参数。采用三维表面形貌扫描仪能够得到材料磨损表面的真实形貌, 同时能够对磨损表面三维(3D)形貌特征进行数字化描述。对常见的粗糙度值范围内的磨损表面采用相应物镜扫描测量比较合适;粗糙度小于一定范围的磨损表面宜采用相对应物镜;粗糙度大于一定范围的宜采用小倍率物镜。对比较规则的磨损表面, 采用几个物镜视场叠加扫描即可得到比较的粗糙度值;对于不太规则的磨损表面, 则需要物镜视场叠加扫描。借助这一手段, 采用上述优化参数对一些冷轧辊材料磨损各阶段试样表面形貌及粗糙度轮廓曲线进行表征、分析, 效果较好。