SENSIRION质量流量控制器SFC5400性能参数
超快速气体流量控制（稳定时间＜100 ms）
超低流量测量时的高精度（＜ 1sccm）
出色的长期稳定性和可靠性
无老化效应
宽动态范围（量程比1000:1）
多气体配置
高配置
源于CMOSens技术的*性价比
数字和模拟接口
灵活机械连接选项：向下安装、VCR和VCO、Swagelok、C-/W-Seal等。
如有需要，可提供定制版本
SENSIRION质量流量控制器SFC5400应用
分析仪器 （如气相色谱、质谱、热分析）
医疗器械 （如呼吸机、麻醉机）
工业过程自动化 （如涂覆、热处理）
半导体行业 （如等离子蚀刻工艺、薄膜沉积）
SFC5400质量流量控制器也提供无阀版本。SFM5400质量流量计与质量流量控制器具有相同性能特性，可用在类似应用当中，SFC5400和SFM5400可组合在一起。在SFM5400网站，您可以找到关于质量流量控制器的更多信息和详细规格。
评估套件 EK-F3x
快捷可靠地评估数字质量流量计 SFM3000 和 SFM3200
可方便地与电脑进行连接
包含：U 盘，带转接线和传感器线 (30 cm)
质量流量计必须单独订购。
SFM3200-AW, SFM3300和SFM3400，SFM4100，SFM5400，SFC5400
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