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气垫(自动平衡)隔振精密光学平台安装及使用

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2020/2/7 12:42:10

气垫(自动平衡)隔振精密光学平台以高导磁不锈钢为台面,台面精磨加工,平整度、光洁度很好。隔振基础采用二层气囊隔离,在各个方向上都提供了优异的减振性能,减振器自身的自然振动频率非常低。稳定轻松调节,稳定可靠结构十分紧凑。自动充气,全部气动执行元件,采用进口产品。静音空气机气源,噪声低,适用于振动频率要求高的环境。

                                            结构图

 

技术要求

1、台面阵列M6螺孔

2、振幅不大于1.2μm

3、固有频率垂直1.2Hz-2.0Hz,水平1.2Hz-2.0Hz

4、表面粗糙度小于0.8μm

5、平面度不大于0.05mm/㎡

6、不锈钢台面厚度不小于6mm

7、重复定位精度±0.05mm

调整和使用

1、调试前擦净工作台面。

2、检查空气压缩机是否良好。

3、接通静音空气压缩机电源(AC220V),打开电源开关进行试运转。

5、注意事项

1、请勿用酸性液体清洗本产品,以免破坏产品表面质量

2、请勿将本产品放置在高温、潮湿及高强度振源处

3、请勿用水冲洗本产品

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