Agilent等离子体光谱仪主要用于液体试样（包括化学处理能转变成溶液的固体试样）中金属元素和部分非金属元素的定量分析。将样品溶液以气溶胶形式导入到等离子体炬焰中，样品被蒸发和激发，发射出所含元素的特征波长的光。
经分光系统分光，其谱线强度由光电器件接受并转变为电信号而被采集。根据元素浓度与谱线强度之间的对应关系，测定样品中各相应元素的含量。
Agilent等离子体光谱仪对气体控制系统的维护保养：
ICP的气体控制系统是否稳定正常地运行，直接影响到仪器测定数据的好坏，如果气路中有水珠、机械杂物杂屑等都会造成气流不稳定，因此，对气体控制系统要经常进行检查和维护。
先要做气体试验，打开气体控制系统的电源开关，使电磁阀处于工作状态，然后开启气瓶及减压阀，使气体压力指示在额定值上，然后关闭气瓶，观察减压阀上的压力表指针，应在几个小时内没有下降或下降很少，否则气路中有漏气现象，需要检查和排除。
然后由于氩气中常夹杂有水分和其它杂质，管道和接头中也会有一些机械碎屑脱落，造成气路不畅通。
因此，需要定期进行清理，拔下某些区段管道，然后打开气瓶，短促地放一段时间的气体，将管道中的水珠，尘粒等吹出。在安装气体管道，特别是将载气管路接在雾化器上时，要注意不要让管子弯曲太厉害，否则载气流量不稳而造成脉动，影响测定。
