ICP光谱仪即以电感耦合高频等离子体为激发光源，利用每种元素的原子或离子发射特征光谱来判断物质的组成，而进行元素的定性与定量分析仪器。也被称为ICP原子发射光谱仪。
ICP光谱仪具有以下优点：
1.多元素同时检出能力。可同时检测一个样品中的多种元素。一个样品一经激发，样品中各元素都各自发射出其特征谱线，可以进行分别检测而同时测定多种元素。
2.分析速度快。试样多数不需经过化学处理就可分析，且固体、液体试样均可直接分析，同时还可多元素同时测定，若用光电直读光谱仪，则可在几分钟内同时作几十个元素的定量测定。
3.选择性好。由于光谱的特征性强，所以对于一些化学性质极相似的元素的分析具有特别重要的意义。如铌和钽、铣和铪、十几种稀土元素的分析用其他方法都很困难，而对aes来说是毫无困难之举。
4.检出限低。一般可达0.1～1ug·g－1，值可达10－8～10－9g。用电感耦合等离子体（icp）新光源，检出限可低至数量级。
5.用icp光源时，准确度高，标准曲线的线性范围宽，可达4～6个数量级。可同时测定高、中、低含量的不同元素。因此icp－aes已广泛应用于各个领域之中。
6.样品消耗少，适于整批样品的多组分测定，尤其是定性分析更显示出*的优势。
