与使用空气源相比，氧气源臭氧发生器的臭氧功能发生很大变化。
1.氧源可使臭氧出口浓度提高8~10倍。空气源臭氧发生管出口浓度为9~11毫克/升，低于1毫克/升。有氧气时，出口浓度可达80~130毫克/升。
2.氧源大大提高臭氧灭菌或氧化能力。高浓度氧气产生高浓度臭氧。从而大大提高臭氧灭菌或氧化能力。一些细菌和病毒用空气源臭氧很难杀死，但用氧源臭氧很容易杀死。有些化合物只能用氧源臭氧氧化。
3.氧源可以增加臭氧产生3~5倍。与空气源臭氧发生器相比，氧源臭氧发生器的产量提高了3~5倍。臭氧发生管的利用效率大大提高。
4.氧源不受氮化物污染。臭氧管使用空气源时，由于空气中含有78%的氮气，产生臭氧时会有氮化物。采用氧源避免氮化物的产生。
5.氧源系统体积小。臭氧发生器采用空气源，气体预处理结构复杂，比氧源臭氧发生器至少大3倍，功耗也相应增加，进而导致成本和维护成本增加。使用氧源臭氧发生器的优点氧气发生器用于提供氧气，因此臭氧浓度大大提高，综合成本大大降低。
