高温四探针综合测试系统（包含薄膜，块体功能）是为了方便的研究在高温条件下的半导体的导电，该系统可以实现在高温、真空及惰性气氛条件下测量硅、锗单晶（棒料、晶片）电阻率和外延层、扩散层和离子层的方块电阻及测量其他方块电阻。
高温四探针综合测试系统符合的标准：
1、符合GB/T 1551-2009《硅单晶电阻率测定方法》
2、符合GB/T 1552-1995《硅、锗单晶电阻率测定直流四探针法》
最后我们来了解一下高温四探针综合测试系统的应用：
1、测试硅类半导体、金属、导电塑料类等硬质材料的电阻率/方阻；
2、可测柔性材料导电薄膜电阻率/方阻；
3、金属涂层或薄膜、陶瓷或玻璃等基底上导电膜（ITO膜）电阻率/方阻；
4、纳米涂层等半导体材料的电阻率/方阻；
5、电阻器体电阻、金属导体的低、中值电阻以及开关类接触电阻进行测量；
6、可测试电池极片等箔上涂层电阻率方阻。
