等离子清洗机的清洗不分对象，可以处理任何材质：金属、半导体、氧化物、是高分子材料都可以使用等离子体处理设备来处理。任何材质都在清洗范围内，等离子清洗机不但可以精确精洗还可以对局部特定清洗，还可以改善物品表面活性能（湿度或粘度）。等离子清洗机完成表面清洗同时还可以改善材料本身的表面性能，如提高表面的润湿性能、改善膜的黏着力等
等离子清洗机是真正环保绿色清洗，因等离子清洗机设备在清洗作业中不需要使用三氯乙烷类的有害溶剂，可有效避免被清洗表面污染物残留。表面清洗后不会产生有害污染物。而且被清洗物体或物件表面呈干燥干净的，可以省略干燥处理这个环节直接进入下一工序处理，可以大幅提高整个工艺流水线的处理效率。
等离子清洗机可以深入到物体的微细孔眼和凹陷的内部完成清洗任务，因此不需要过多考虑被清洗物体的形状。而且对这些难清洗部位的清洗效果与氟利昂清洗的效果好是甚至更好
