光学测量显微镜是一种基础的精密光学测量仪器。采用透、反射的方式对工件长度和角度作精密测量。工作台除作X、Y坐标的移动外，还可以作360度的旋转，是一种理想的固定场所小型精密测量仪器。
光学测量显微镜的测量步骤如下：
1、工作距调整:可根据被测物体的厚度，拧松支柱套上的固紧手轮，按需要升降支架，合适后固紧手轮，并检将辅助支承座紧座紧靠支柱套后固紧。
2、目距调整:用双手稍扳动左右普柔棱镜座来改变目距，以适于双眼观察。
3、焦距调整:转动升降手轮，使仪器头部上下移动。当观察物像出现后，轻微转动，直到右眼的像较清晰为止。
4、视度调节:旋转左目镜上的视度调节圈，使左眼的像与右眼的像同样清晰。
倍率的调整:本仪器设计有二种不同的倍数，转换变倍轮以改变倍数。
5、测量:
(1)用X轴( 或Y轴)对准被测物边缘，使X轴(或Y轴)与被告测物的外边缘相外切;
(2)记录测微头的数据;
(3)移动X轴(或Y轴)与被测物内边缘相内切，这时再记录测微头的数据，将移动后的数据减移动前的数据即是我们所测的数。
该设备主要运用于录像磁头、大规模集成电路线宽以及其它精密零件的测试。可广泛用于电子行业和细小精密零件检测、装配、修理；印刷线路板，印刷丝网板的检定，还可以用于生物解剖和珠宝鉴定等。
