工艺介绍
在高温环境中，由于化学气相沉积（CVD）的涂层与晶圆的膨胀率不同，容易产生局部形变，形变则会产生应力，在多层的反复加工中应力会越来越大，最终导致晶圆损坏报废。
因此化学气相沉积（CVD）镀膜的细分工位通常使用激光退火的方式来消除应力，最后通过应力检测机确认消除效果，以此形成应力把控的闭环。
设备前端模块（EFEM）将晶圆送入测量腔内，随后晶圆经翻转运输至干涉仪的测量视野范围中检测形变量，通过应力计算判定退火品质后，再翻转运输至设备前端模块（EFEM）进行OK/NG的分类。
课题
1、如何精准地采集实时温度
目前时域中常见的滤波方式，平均值（AVE）方式稳定性好，可抗干扰差；中位值（MED）方式抗干扰好，可稳定性差，在输入干扰较大的情况下，用以上任意一种滤波难以精准获取到实时的温度值。
2、如何快速响应细微的温度变化趋势？
解决方案
1、经验分布统计+专业的建模计算，推算批量数据
通过有限的温度采样值，例如中心的基准温度值、变化趋势、判定区间，并使用大数据仿真确定了更为合适的RMS滤波算法，最后经过经验分布函数推算/模拟出大量的实时温度数据。
2、通过数学期望算法，实时估算基准值
首先建立数学期望模型，然后采集开始检测的温度值（过滤后），最后通过一系列的推算，在动态测量中预估出基准温度值。
