技术文章

随着机械制造技术的快速发展，信息技术、激光技术、计算机技术和微电子技术等的广泛应用，机械加工、制造设备以及检测仪器等的精度要求也逐渐提高。精度的高标准，形成了对机械设备性能的高要求，进而推动了精密检测和加工设备的快速发展。

气浮运动台是检测和加工设备的运动执行部分，作为实现精密定位和精确运动，保证系统技术指标的核心组件，在现代航空、计算机、电子制造等科学研究与*领域扮演着重要的角色，特别是在精密制造、光学检测与集成电路的大规模生产等方面有着十分广泛的应用川，故针对其在现代制造业中如此重要的实用价值，各工业制造强国都很重视精密和超精密运动工作台的研究与发展。所以，在推动我国从“世界制造大国”转变为“世界制造强国”的道路上，开展精密和超精密运动工作台的研究具有长远的意义。

传统的气浮运动台多数采用旋转电机与滚动丝杠相结合，将电机的旋转运动经由丝杠转变为与其相连的工作台的直线运动。这种驱动方式的缺点很明显，如系统传动链较长、结构复杂、摩擦较大等。另外，其承载与导向元件一般采用滑动或滚动导轨，这两类导轨在系统进行低速运动时会出现“爬行”现象，致使运动不稳定，影响系统精度。在精密与高精密测量与制造领域，如何解决上诉问题是提高工作台性能的关键。直线电机驱动的精密运动工作台应时而生，其消除了电动机到工作台的传动环节，实现了零传动链的电机驱动方式。另外，根据部分轻载工作台的应用要求，结合导轨的优劣性能，采用气浮导轨与直线电机相结合的方式，使高速度、高加速度、高精度等技术指标的实现变得更加容易，成为了在精密运动台发展中的又一-突破。但是，结合国内外发展现状，我国的气浮运动台技术远远落后于国外各工业大国，各种设备多靠进口，自主研发能力较弱，这种情况严重制约着我国的工业技术发展，所以，对气浮运动台的研究意义深远。