微量气体流量计主要用于工业管道介质流体的流量测量，如气体、液体、蒸气等多种介质。该设备的安装简单，维护十分方便。结构简单而牢固，无可动部件，可靠性高，长期运行十分可靠。检测传感器不直接接触被测介质，性能稳定，寿命长。输出是与流量成正比的脉冲信号，无零点漂移，精度高。
微量气体流量计的保养方式
一、表面擦拭步骤：1.先用干细棉布或擦拭纸擦拭表面，以擦拭其灰尘或测量后机件遗留的油污等。2.再用干净细干棉布沾上工业用酒精，擦拭外表面，酒精具挥发性会自然蒸发。3.必要时，可使用花岗岩专用保养油再擦拭。
二、流量计外表擦拭步骤：1.先用干细棉布或擦拭纸擦拭流量计，以擦拭其灰尘或油污尘或油污等。2.也可使用吹气壶，将灰尘吹掉。3.必要时，可再用干净细干棉布沾上工业用酒精或高级润滑油，擦拭磨擦表面。微量气体流量计润滑部分保养步骤：1.先用细棉布将灰尘擦拭干净。2.流量计润滑部分再加入润滑机油、或由黄油枪加入等，小心注意其仪器外表勿受伤。2.再用干净细干棉布沾上工业用酒精，擦拭仪器外表，尤其金属及非金属表面。
三、流量计镜面擦拭步骤：1.先用拭镜纸轻轻擦拭镜面表面，勿用力以免伤及镜面。2.再用棉花棒沾工业用酒精，轻轻擦拭镜面表面，并需等酒精挥发后，再装回去。3.镜面擦拭可区分成校正玻璃片及镜头内透镜组，由于灰尘粒子会造成成像的黑点，镜面擦拭至为重要，装置后需重新借着影像观察擦拭结果。
四、流量计传动部分：分干磨擦部分及润滑部分，干磨擦部分又有气浮轴承及无牙丝杆传动机构之区分。干磨擦部分保养步骤：1.先用干细棉布或擦拭纸擦拭磨擦表面，以擦拭其灰尘或油污等。2.也可使用吹气壶，将灰尘吹掉。3.必要时，可再用干净细干棉布沾上工业用酒精或高级润滑油，擦拭磨擦表面。微量气体流量计润滑部分保养步骤：1.先用细棉布将灰尘擦拭干净。2.润滑部分再加入润滑机油、或由黄油枪加入.
