超声波清洗作为清洗材料的手段已经广泛应用于各个领域，等离子处理作为一种新的技术，逐渐为用户所熟悉，这两种方式在原理和目的上有一些区别。
等离子体是物质的一种状态，也叫做物质的第四态，对气体施加足够的能量使之等离子化便成为等离子状态，等离子体的“活性”组分包括：离子、电子、原子、活性基团、激发态的核素（亚稳态）、光子等。等离子处理原理是在舱体内接近真空状态时，开启射频电源，这时气体分子电离，产生等离子体，并且伴随辉光放电现象，等离子体在电场下加速，从而在电场作用下高速运动，对物体表面发生物理和化学作用，等离子的能量足以去除各种污染物，同时氧等离子可以将有机污染物氧化为二氧化碳和水蒸气排出舱体外，等离子处理不需要其他的溶剂，只要空气等其它气体就能够满足要求（善准科技VP-R、VP-RS、VP-Q和VP-S系列真空等离子处理仪提供扩展应用，可以接入两路气体，常用的气体氧气、氩气、氮气、氢气等），使用方便而且没有污染。
超声波清洗原理主要是通过换能器，将功率超声频源的声能转换成机械振动，通过清洗槽将超声波辐射到槽内的清洗液。由于受到超声波的辐射，使槽内液体中的微气泡能够在声波的作用下从而保持振动，破坏污物与清洗件表面的吸附，引起污物层的疲劳破坏而被驳离，气体型气泡的振动对固体表面进行擦洗。与超声波清洗相比等离子处理不要放入水中，整个清洗过程在真空腔内，干燥洁净，而且不但可以进行表面清洗，更重要的是可以提高表面活性，等离子体与物体表面进行化学反应能够产生活性化学组团，这些化学组团有很高的活性，从而提高材料表面亲水性，粘接能力，焊接能力，结合力等。
