紫外臭氧清洗机清洗是一个干燥的过程。而紫外臭氧清洗机内会配备臭氧清除装置，废气臭氧在系统内分解，不会造成清洁室内的臭氧含量过高从而产生危害。紫外臭氧清洗机也可配置成连续加载的清洗线，并可与DI水冲洗系统耦合，清除表面的颗粒。应用范围十分广泛，在现代信息技术行业中使用光清洗技术比较普遍，随着我国工业现代化的发展，光清洗和光改质技术还将逐步应用于金属、塑料、橡胶等工业生产领域。
紫外臭氧清洗机的工作原理:
通过产生185nm和254nm高强度UV光分解有机分子(污染物)。185nm波长紫外光的光能量能将空气中的氧气(02)分解成臭氧(03)，而254nm波长的紫外光的光能量能将03分解成02和活性氧(0)。在连续进行的光敏氧化反应中，生成的活性氧原子与活化了的有机物(即碳氢化合物)分子发生氧化反应，生成挥发性气体(如C02，CO，H20,NO等)逸出物体表面，从而清除粘附在物体表面上的有机污染物，达到清洗的目的。
紫外臭氧清洗机的应用案例包括:表面清洁、薄膜沉积、紫外光刻、表面杀菌、AFM/STM探针清洁、UV化学反应、光学部件的清洁、改善样品表面亲水性、去除表面单分子层、表面氧化、表面刻蚀/缩微成像等。
