超纯水系统是用于制备纯水和高纯水的系统，进入自来水预处理模块，经过预处理，去除颗粒物和异色及异味物质等，以防止RO膜被有机污垢和氯氧化物损坏。之后水通过增压泵进入反渗透模块，反渗透模块有两个出水口，纯水输出到纯水箱暂存。被反渗透膜截留的离子、颗粒、有机分子和细菌通过排水管被输送到排水口。
取水时，启动输送泵将纯净水箱中的纯净水泵入紫外线灯中。紫外线灯发射185纳米和254纳米的光，用于降低水中有机分子和微生物的含量。然后纯水被输送到净化柱模块以去除水中的离子。超滤膜及进水过滤器是一种膜过滤器，用于滤除所有规格大于过滤孔径的颗粒、细菌及细菌内毒素。定期循环水可以提高超纯水机的水质。同时，系统还设有原水、预纯化水、超纯水的监测点，对这三种水的水质进行监测，为耗材的更换和设备的运行状态提供科学的数据分析。
超纯水系统的预处理模块、反渗透模块、净化柱模块、紫外灯、超滤膜、进水过滤器都是消耗装置，在系统维护期间需要定期更换。超纯水系统的工艺主要有以下这些：
1、预处理系统→反渗透系统→中间水箱→粗混合床→精混合床→纯水箱→纯水泵→紫外线杀菌器→抛光混床→精密过滤器→用水对象（≥18MΩ.CM）(传统工艺)
2、预处理→反渗透→中间水箱→水泵→EDI装置→纯化水箱→纯水泵→紫外线杀菌器→抛光混床→0.2或0.5μm精密过滤器→用水对象（≥18MΩ.CM）(新工艺)
3、预处理→一级反渗透→加药机（PH调节）→中间水箱→级反渗透（正电荷反渗膜）→纯水箱→纯水泵→EDI装置→紫外线杀菌器→0.2或0.5μm精密过滤器→用水对象（≥17MΩ.CM）(新工艺)
4、预处理→反渗透→中间水箱→水泵→EDI装置→纯水箱→纯水泵→紫外线杀菌器→0.2或0.5μm精密过滤器→用水对象（≥15MΩ.CM）(新工艺)
5、预处理系统→反渗透系统→中间水箱→纯水泵→粗混合床→精混合床→紫外线杀菌器→精密过滤器→用水对象（≥15MΩ.CM）(传统工艺)
