x射线光电子能谱仪是目前世界的商用X射线荧光光谱分析仪器，适用于陶瓷、青铜器、玉器、竹木漆器、字画、皮革、丝麻棉织品等多种文物的整器无损分析。其优势主要有：超大样品室，适合各种形态、材质的器物放置，可移动样品台能够检测器物的各个部位，并且可以在空气和真空双重条件下测量。聚焦可调，点、线、面扫描结合，全面反映器物的微观结构与宏观形貌。分析速度快精密度高，全自动化操作，安全可靠。
x射线光电子能谱仪用于不同的检测目的，拥有各式各样的X荧光能谱仪，其中包括便携式荧光能谱仪可以在野外使用的简单仪器仪表和在实验室中使用的大型仪器，但其工作原理是类似的。该仪器主要分为四种系统：X-荧光激发源；X-荧光探测器；样品室；信号处理、数据计算系统。
便携式荧光能谱仪是根据同位素源为激发源，体积小巧，方便携带，适用于现场分析及野外和大型工件设备上某零件的元素分析或合号的鉴定。但达不到大型荧光能谱的分析精度。一般以定性半定量分析获准定量分析。
x射线光电子能谱仪的使用范围：
1、高分子、陶瓷、混凝土、生物、矿物、纤维等无机或有机固体材料分析;
2、金属材料的相分析、成分分析和夹杂物形态成分的鉴定;
3、可对固体材料的表面涂层、镀层进行分析，如:金属化膜表面镀层的检测;
4、金银饰品、宝石首饰的鉴别，考古和文物鉴定，以及刑侦鉴定等领域;
5、进行材料表面微区成分的定性和定量分析，在材料表面做元素的面、线、点分布分析。
