| 零件号 | 50C-0405A | 50C-0506A | 50C-0605A | 50C-0806A |
|---|---|---|---|---|
| 固有频率 | 上下：约2.5Hz | |||
| 找平方法 | 集中排气式自动调平 { 由压缩空气或氮气 0.3 至 0.7 MPa (3 至 7 kgf/cm²) 操作} | |||
| 尺寸：宽 x 深 x 高 (mm) | 400 × 500 × 53 | 500 × 600 × 53 | 600 × 500 × 53 | 800 × 600 × 53 |
| 载板规格 | 表面SUS304 | |||
| 最大负载重量（公斤） | 120 | |||
| 产品质量（公斤） | 22 | 29 | 29 | 44 |
| 配件 | 带过滤器的调节器，软尼龙管 6mm x 3mm， 聚氨酯管 6mm x 3mm，接头 (R1/4) | |||
| 选项 | 小型压缩机 | |||
安装板表面采用SUS304材质，无需担心灰尘进入无尘室。此外，特殊的阻尼结构提供了优良的减振特性。
它变得更薄，更易于使用。
高度自动调节阀的排气集中在一处，通过附带的聚氨酯管从背面的集中排气口排出，洁净室内的空气不受污染。
采用与50系列相同的专用小型空气弹簧，成就颇多。与50系列一样出色的隔振效果，由于节流孔的空气阻尼大。
