精密气浮隔振光学平台能够满足精密负载对振动隔离需求，上面板采用优质高导磁SUS430不锈钢，台面内核为三层夹心式蜂窝结构，内核密度大幅度提高，具有优秀的硬重比和刚性，同时保证了较低的固有频率，具备行业较高的隔振效果。上台面采用精密磨削工艺，平面度可达≤0.05mm/㎡，表面粗糙度<0.6um，回旋打磨工艺清除毛边，达到无反射、哑光效果，面板具有M6阵列螺孔，易于固定光学元件。气浮支架采用整体焊接工艺（四支撑或六支撑结构），半膜片式空气弹簧，采用进口三水平调节阀技术，反应灵敏，响应迅速，在超载偏重的实验条件下，能瞬间恢复初始的平衡状态。支撑腿内部为二级气室结构，气室间带有阻尼孔，气动元件全部采用德国FESTO产品，标配优质大功率压缩机，整体结构保证平台有较高的稳定性。
