英国PORVAIR博韦尔微电子学气体处理高纯化学过滤
微电子设备
博韦尔为微电子行业制造广泛的高纯度多孔介质以及高效可靠的过滤产品。包括一系列产品，用于下面制造行业:
半导体
我们的优质 POU 过滤器经过广泛测试，确保满足半导体制造领域供气系统的关键过滤效率、精确的流量控制和安全要求。
光伏
制造光伏设备的薄膜沉积工艺，关键的输气和供气 系统选用了 Porvair GasProTM 高纯度过滤器。
高亮度发光二极管 (HB LED)
在高亮度发光二极管制造中，Porvair GasProTM 过 滤器能够去除工艺气体中的亚微米颗粒。
在半导体和微电子行业的关键气体处理和输送应用中，这些产品确保极度清洁，这些应用包括:
气体安全管理
排气通风系统
流量控制
减少颗粒，提高良品率
层流扩散
压力缓冲
阻燃。
