在半导体领域，硅片作为常用的基材被广泛应用在芯片、集成电路和电子器件的制造上。目前在硅片的整个加工过程中需要使用镀膜设备对硅片的表面进行镀膜。其中硅片是放置在石墨舟中，由硅片输送线输送而来，这里硅片输送线并不直接将石墨舟输入到镀膜设备中，而是先由转运设备将硅片输送线上的石墨舟中的硅片转运到中转石墨舟中，然后转运设备再将中转石墨舟输送到镀膜设备中；当镀膜设备对硅片镀完膜后，转运设备再将装有镀膜后的硅片的中转石墨舟中的硅片放到硅片输送线上的石墨舟中，并在放置完成后向该中转石墨舟重新装入未镀膜的硅片；另外硅片输送线还将装有镀完膜的硅片的石墨舟输送走；其中转运设备在将中转石墨舟中的镀完膜的硅片转运到硅片输送线上的石墨舟前，还需要通过视觉检测设备或者人工来判断中转石墨舟中镀完膜的硅片是否合格。
提供了一种硅片搬运设备，包括安装板、固定装置、第一驱动装置和硅片取放装置；安装板的顶面对称安装有两个固定装置，固定装置用于固定中转石墨舟；第一驱动装置与安装板连接，被配置于带动安装板旋转；硅片取放装置用于向固定装置上的中转石墨舟中放入硅片或者从固定装置上的中转石墨舟中取出硅片；包括两条输送线和两个第二驱动装置，两条输送线的输送方向平行设置；一个第二驱动装置与一条输送线连接，被配置于带动输送线沿与输送方向水平垂直的方向往返运动；还包括缓存架，缓存架上设有至少两个石墨舟支撑工位，石墨舟支撑工位在输送线上方；还包括搬舟装置，搬舟装置用于将固定装置上的中转石墨舟搬运到一条输送线上，将另一条输送线上的石墨舟搬运到固定装置上或者先搬运到石墨舟支撑工位上然后再从石墨舟搬运工位搬运到固定装置上。
输送板的顶面安装有用于支撑中转石墨舟的四个支撑滑轮，四个支撑滑轮呈长方形分布，输送板的顶面上还设有两个分别用于定位中转石墨舟的前侧面和后侧面的定位滑轮组件，其中一个定位滑轮组件与滑轮伸缩动力装置的伸缩端连接，滑轮伸缩动力装置的固定端安装在输送板的顶面上；输送板的顶面上还安装有海绵垫，海绵垫在两个定位滑轮组件之间。
