Excimer UVO3 清洁重整器 6 英寸兼容桌面型号
电子显微镜样品的预处理
清洁样品和夹具
提高样品表面的润湿性、亲水性和亲和力
提高接合面的附着力
表面改性
清洗晶圆和玻璃表面后，分解残留有机物并清洗
提高涂覆前以及涂覆晶圆和玻璃表面的均匀性
兼容工作尺寸 6” (152mm)
载物台传输准分子UV扫描照射法
工艺参数（照射速度、照射次数、照射距离）
可选工艺参数（N2 吹扫、加热阶段）
配备臭氧消减处理装置
波长172nm Xe准分子紫外灯 利用光化学反应在室温下进行短时间精密加工
市电，仅限 AC100V 电源
门联锁设备
节省空间的桌面型号
不使用汞灯
使用准分子UV光源进行光化学反应表面处理，由于光源的特性，照射物体的温度不易升高，使得可以对容易受热影响的物体进行低温表面处理，例如薄膜材料。此外，与等离子体等物理表面处理不同，光化学反应的特点是加工精度高，不易对工件造成损坏。
| 产品名称 | Excimer UVO3 清洁重整器 6 英寸兼容型号 |
| 型号 | E172-200 |
| 波长 | 172纳米 |
| 目标工作尺寸 | 6”（□152 毫米） |
| 初始照度 | 20mW/cm2以上 |
| 连续照明操作 | 10分钟内（由于轻量化和紧凑的风冷设计） |
| 外形尺寸 | 195（宽）x 380（深）x 480（高）毫米* |
| 公用事业 | 电源AC100V 50/60Hz 2A |
| 定期更换零件 | 废气臭氧分解装置建议1年或酌情更换 |
| 定期检查 | 高压电源、灯光源等1年或酌情 |
通过简单的系统结构实现低成本和高性能。可以立即打开和关闭。风冷准分子灯是研究和开发的理想选择。使用准分子UV灯的光学表面处理非常适合薄膜材料等容易受热影响的物体的精密低温表面处理，因为由于准分子灯的特性，工件的温度不易升高。
| 产品名称 | 实验准分子172nm光源 |
| 型号 | E500-172-110 |
| 波长 | 172纳米 |
| 光源 | Xe准分子灯 Φ18 x 120 mm |
| 初始照度 | 20mW/cm2以上 |
| 连续照明操作 | 10分钟内（由于轻量化和紧凑的风冷设计） |
| 外形尺寸 | 灯箱 W 200 x H 45 x D 80 mm 电源部分 W 250 x H 133 x D 200 mm |
| 公用事业 | 电源AC100V 50/60Hz 2A，去除臭氧需局部排气 |
| 定期更换零件 | 高压电缆、灯外部电极，建议更换周期 3 年或酌情 |
| 定期检查 | 高压电源、光源等 3年或酌情 |
