一、精密滤芯
精密滤芯又称过滤滤芯，分线绕滤芯和PP熔喷滤芯，主要用来过滤源水中的泥沙等大的颗粒物，其过滤精度有5微米、1微米等。
新滤芯呈白色，使用时间长了表面会淤积泥沙等杂物，呈现褐色，这就表示该滤芯不能继续使用了，如果用自来水冲洗掉表面淤泥后，可以勉强使用一到两周，但不能长期使用。
精密滤芯是放在滤瓶里面的，有些滤瓶是透明的，可以直观地观察滤芯的颜色变化，有些滤瓶是不透明的，需要将其拧开盖子后才能观察到滤芯的颜色变化。从以往的使用经验来看，精密滤芯的寿命一般在三到六个月，若源水的泥沙较多，则其寿命会变短，若源水泥沙等颗粒物少，那么其使用寿命会延长一些。
二、活性炭滤芯
活性炭滤芯主要通过吸附作用去除水中的异味、有机物等，另外自来水若作为源水，水中是有余氯的，余氯对反渗透膜有很大的氧化作用，所以必须经由活性炭去除。
活性炭滤芯从外观上观察没有直观的变化，根据实际经验来看，活性炭滤芯一般在一年左右就会达到饱和吸附状态，需要进行更换。
三、反渗透膜
反渗透膜是超纯水机中十分重要的部件，通过其产生的水即为三级纯水。
反渗透膜孔径非常小，所以在使用过程中常常有细菌等微小物质堵塞其孔隙，优普超纯水机具有反冲洗功能，可以冲洗掉堵塞的污染物。若用水量在10升/天以内，可冲洗反渗透膜3-5次，若超过10升，则需要多冲洗几次。
如果长期不使用(如一个月以上)超纯水机，我们需要将反渗透膜从机器内取出，然后将其浸泡在消毒液中，避免细菌的滋生，不过该过程比较麻烦，可以间隔两到三天开机运行一次，让仪器内部的水流通出来，以减少死水的沉积时间。
反渗透膜的使用寿命一般在两到三年，主要由用户的用水量来决定，所以在起初采购时一定要注意选择合适规格的超纯水机。
四、超纯化柱
超纯化柱的作用是对反渗透纯水进行深度脱盐，使其达到一级水或超纯水的标准，其工作原理是运用离子交换树脂来去除纯水中的离子。
超纯化柱的质量是由离子交换树脂的填充量和其本身质量所决定。超纯化柱是否失效可由电阻率在线监测功能来表现，如果出水水质电阻率低于某个特定值，在排除其它因素后，即表示超纯化柱过期失效，比较直观。
