APM-HB03HBH-GY
韩国迈克彼恩Mecapion ，其前身为韩国麦特斯Metronix 株式会社成立于1995年，于2007年3月份正式更名为迈克彼恩Mecapion，是韩国zui大的自动化设备及机械装置方面的核心部件即旋转编码器、伺服系统等产品的开发研制、生产、销售和售后服务的高新技术企业，并获得了ISO9001质量体系认证。开发完成半导体设备8‘’及12‘’晶圆用 spinner电机适用于涂胶，显影及清洗工程
实现率瞬间加速特性-100.000rps以上
可根据客户的要求，定做各种SPinner电机
按照客户的要求提供多种中空轴
采用磁性流体密封，强化耐环境性
表面进行特殊涂布处理，强化耐腐蚀性
应用范围：
1，半导体制造工业
2，设备应用
A.曝光显影设备(涂胶，显影)光刻加工程序的主要设备及掌控涂层，曝光，显影。
B.清洗、蚀刻设备用于蚀刻，清洗，去膜设备。
C.清洗设备适用于物理冲洗清洁、颗粒清洗刷子、声控及喷雾工艺。
技术含量
设备条件
高转速(5000rpm~8000rpm)真空轴
加/减速时间冷却系统(水冷系统)
低噪音和振动zui低公差
中空轴尺寸zui小化处理按照客户需求柔性定制
采用重叠设计是尺寸zui小化
